1. آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ ۾ بنيادي طور تي مواد جي مٿاڇري جي ترميم ۾ مدد لاءِ گهٽ توانائي واري آئن بيم استعمال ڪيا ويندا آهن.
(1) آئن جي مدد سان جمع ڪرڻ جون خاصيتون
ڪوٽنگ جي عمل دوران، جمع ٿيل فلمي ذرڙن کي چارج ٿيل آئن بيم سان ڪوٽنگ ڪرڻ دوران سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي آئن ذريعن مان چارج ٿيل آئنن سان مسلسل بمباري ڪئي ويندي آهي.
(2) آئن جي مدد سان جمع ڪرڻ جو ڪردار
اعليٰ توانائي وارا آئن ڪنهن به وقت ڍلو ٿيل فلمي ذرڙن تي بمباري ڪندا آهن؛ توانائي جي منتقلي سان، جمع ٿيل ذرات وڌيڪ حرڪي توانائي حاصل ڪندا آهن، ان ڪري نيوڪليشن ۽ واڌ جي قانون کي بهتر بڻائيندا آهن؛ ڪنهن به وقت جھلي جي ٽشو تي هڪ ڪمپيشن اثر پيدا ڪندا آهن، فلم کي وڌيڪ گھڻائي سان وڌندا آهن؛ جيڪڏهن رد عمل واري گئس آئن کي انجيڪٽ ڪيو وڃي ٿو، ته مواد جي مٿاڇري تي هڪ اسٽوچيوميٽرڪ مرڪب پرت ٺاهي سگهجي ٿي، ۽ مرڪب پرت ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ ڪو به رابطو ناهي.
2. آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ لاءِ آئن ذريعو
آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ جي خاصيت اها آهي ته فلم پرت جا ايٽم (جمع ڪرڻ وارا ذرڙا) سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي آئن ذريعن مان گهٽ توانائي واري آئنن سان مسلسل بمباري ڪندا آهن، فلم جي جوڙجڪ کي تمام گهڻو ڳرو بڻائيندا آهن ۽ فلم پرت جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائيندا آهن. آئن بيم جي توانائي E ≤ 500eV آهي. عام طور تي استعمال ٿيندڙ آئن ذريعن ۾ شامل آهن: ڪافمن آئن ذريعو، هال آئن ذريعو، اينوڊ پرت آئن ذريعو، هولو ڪيٿوڊ هال آئن ذريعو، ريڊيو فريڪوئنسي آئن ذريعو، وغيره.
پوسٽ جو وقت: جون-30-2023

