A pulverização catódica reativa por magnetron significa que gás reativo é fornecido para reagir com partículas pulverizadas durante o processo de pulverização catódica, produzindo um filme composto. A pulverização catódica reativa por magnetron pode ser fornecida para reagir com o composto alvo da pulverização catódica simultaneamente, e também pode ser fornecida para reagir com o metal ou liga alvo da pulverização catódica simultaneamente, preparando um filme composto com uma determinada proporção química. As características da pulverização catódica reativa por magnetron para preparar filmes compostos são:
(1) Os materiais alvo usados para pulverização catódica reativa de magnetron (alvo de elemento único ou alvo de múltiplos elementos) e gases de reação são fáceis de obter alta pureza, o que é propício para a preparação de filmes compostos de alta pureza.
(2) Na pulverização catódica reativa de magnetron, ajustando os parâmetros do processo de deposição, a proporção química ou não química de filmes compostos pode ser preparada, de modo a atingir o objetivo de regular as características do filme ajustando a composição do filme.
(3) A temperatura do substrato geralmente não é muito alta durante o processo de deposição de pulverização catódica reativa do magnetron, e o processo de formação do filme geralmente não requer que o substrato seja aquecido a temperaturas muito altas, portanto, há menos restrições quanto ao material do substrato.
(4) A pulverização catódica reativa por magnetron é adequada para a preparação de filmes finos homogêneos de grande área, podendo atingir a produção industrializada com uma produção anual de um milhão de metros quadrados de revestimento a partir de uma única máquina. Em muitos casos, a natureza do filme pode ser alterada simplesmente alterando a proporção de gás reativo para gás inerte durante a pulverização catódica. Por exemplo, o filme pode ser alterado de metálico para semicondutor ou não metálico.
——Este artigo temfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdong Zhenhua libertado
Data de publicação: 31 de agosto de 2023