۱. د ایون بیم په مرسته زیرمه کول په عمده توګه د ټیټ انرژۍ ایون بیمونه کاروي ترڅو د موادو سطحې تعدیل کې مرسته وکړي.
(۱) د ایون په مرسته د جمع کولو ځانګړتیاوې
د پوښ کولو پروسې په جریان کې، زیرمه شوي فلم ذرات په دوامداره توګه د سبسټریټ په سطحه د ایون سرچینې څخه د چارج شوي ایونونو لخوا بمبار کیږي پداسې حال کې چې د چارج شوي ایون بیمونو سره پوښل کیږي.
(۲) د ایون په مرسته د جمع کولو رول
لوړ انرژي ایونونه په هر وخت کې په نرمۍ سره تړلي فلم ذراتو بمباري کوي؛ د انرژۍ په لیږدولو سره، زیرمه شوي ذرات ډیر حرکي انرژي ترلاسه کوي، په دې توګه د نیوکلیشن او ودې قانون ښه کوي؛ په هر وخت کې د غشا نسج باندې د ترکیب اغیزه تولیدوي، چې فلم ډیر کثافت ته وده ورکوي؛ که چیرې د تعامل ګاز ایونونه داخل شي، د موادو په سطحه د سټوچیومیټریک مرکب طبقه رامینځته کیدی شي، او د مرکب طبقې او سبسټریټ ترمنځ هیڅ اړیکه شتون نلري.
۲. د آیون بیم په مرسته د ایون سرچینه
د ایون بیم په مرسته د جمع کولو ځانګړتیا دا ده چې د فلم طبقې اتومونه (د جمع کولو ذرات) په دوامداره توګه د سبسټریټ په سطحه د ایون سرچینې څخه د ټیټ انرژي ایونونو لخوا بمبار کیږي، چې د فلم جوړښت خورا کثافت کوي او د فلم طبقې فعالیت ښه کوي. د ایون بیم انرژي E ≤ 500eV دی. په عام ډول کارول شوي ایون سرچینې عبارت دي له: د کافمن ایون سرچینه، د هال ایون سرچینه، د انود پرت ایون سرچینه، د خالي کیتوډ هال ایون سرچینه، د راډیو فریکونسي ایون سرچینه، او نور.
د پوسټ وخت: جون-۳۰-۲۰۲۳