د تعامل کوونکي مقناطیسي سپټرینګ معنی دا ده چې تعامل کوونکي ګاز د سپټرینګ په پروسه کې د سپټرینګ ذراتو سره د عکس العمل لپاره چمتو کیږي ترڅو د مرکب فلم تولید کړي. دا کولی شي په ورته وخت کې د سپټرینګ مرکب هدف سره د عکس العمل لپاره تعامل کوونکي ګاز چمتو کړي، او کولی شي په ورته وخت کې د سپټرینګ فلز یا الیاژ هدف سره د عکس العمل لپاره تعامل کوونکي ګاز هم چمتو کړي ترڅو د ورکړل شوي کیمیاوي تناسب سره مرکب فلم چمتو کړي. د مرکب فلمونو چمتو کولو لپاره د تعامل کوونکي مقناطیسي سپټرینګ ځانګړتیاوې دا دي:
(1) هغه هدف لرونکي مواد چې د عکس العمل مقناطیسي سپټرینګ (واحد عنصر هدف یا څو عنصر هدف) او د عکس العمل ګازونو لپاره کارول کیږي د لوړ پاکوالي ترلاسه کول اسانه دي، کوم چې د لوړ پاکوالي مرکب فلمونو چمتو کولو لپاره مناسب دی.
(2) په عکس العمل لرونکي میګنیټرون سپټرینګ کې، د جمع کولو پروسې پیرامیټرو تنظیم کولو سره، د مرکب فلمونو کیمیاوي تناسب یا غیر کیمیاوي تناسب چمتو کیدی شي، ترڅو د فلم جوړښت تنظیم کولو سره د فلم ځانګړتیاو تنظیم کولو هدف ترلاسه شي.
(۳) د سبسټریټ تودوخه عموما د تعامل کونکي میګنیټرون سپټرینګ جمع کولو پروسې په جریان کې ډیره لوړه نه وي، او د فلم جوړولو پروسه معمولا د سبسټریټ ډیر لوړ تودوخې ته تودوخه کولو ته اړتیا نلري، نو د سبسټریټ موادو باندې لږ محدودیتونه شتون لري.
(۴) د عکس العمل مقناطیسي سپټرینګ د لوی ساحې همجنسي پتلي فلمونو چمتو کولو لپاره مناسب دی، او کولی شي د یو واحد ماشین څخه د یو ملیون مربع متره کوټینګ کلني تولید سره صنعتي تولید ترلاسه کړي. په ډیری مواردو کې، د فلم طبیعت د سپټرینګ پرمهال د عکس العمل ګاز غیر فعال ګاز ته د تناسب بدلولو سره بدلیدلی شي. د مثال په توګه، فلم له فلز څخه سیمیکمډکټر یا غیر فلز ته بدلیدلی شي.
——دا مقاله لريد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا خپور شو
د پوسټ وخت: اګست-۳۱-۲۰۲۳