Sprzęt głównie przyjmuje chemiczne osadzanie z fazy gazowej w celu przygotowania warstwy tlenkowej, która ma cechy szybkiego tempa osadzania i wysokiej jakości warstwy. Jeśli chodzi o strukturę sprzętu, struktura podwójnych drzwi jest używana w celu poprawy wydajności zaciskania, a najnowszy system zasilania gazem ciekłym jest przyjmowany w celu zapewnienia stabilnego i kontrolowanego przepływu oraz skutecznego zapewnienia stabilności procesu. Folia przygotowana przez sprzęt ma dobrą barierę pary wodnej i dłuższy okres stabilności w teście wrzenia.
Sprzęt można stosować do stali nierdzewnej, galwanizowanego sprzętu / części z tworzyw sztucznych, szkła, ceramiki i innych materiałów, takich jak produkty elektroniczne, koraliki świetlne LED, artykuły medyczne i inne produkty, które wymagają odporności na utlenianie. Folia barierowa SiOx jest przygotowywana głównie w celu skutecznego blokowania pary wodnej, zapobiegania korozji i utlenianiu oraz wydłużania żywotności produktu.
| Modele opcjonalne | rozmiar komory wewnętrznej |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |