1. ਆਇਨ ਬੀਮ ਅਸਿਸਟਡ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਸੋਧ ਵਿੱਚ ਸਹਾਇਤਾ ਲਈ ਘੱਟ ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਆਇਨ ਬੀਮ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ।
(1) ਆਇਨ ਸਹਾਇਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ
ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ, ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਏ ਫਿਲਮ ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਚਾਰਜਡ ਆਇਨ ਬੀਮ ਨਾਲ ਲੇਪ ਕੀਤੇ ਜਾਣ ਦੇ ਦੌਰਾਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਆਇਨ ਸਰੋਤ ਤੋਂ ਚਾਰਜਡ ਆਇਨਾਂ ਦੁਆਰਾ ਲਗਾਤਾਰ ਬੰਬਾਰੀ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
(2) ਆਇਨ ਸਹਾਇਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਜਮ੍ਹਾਂ ਦੀ ਭੂਮਿਕਾ
ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਆਇਨ ਕਿਸੇ ਵੀ ਸਮੇਂ ਢਿੱਲੇ ਢੰਗ ਨਾਲ ਬੰਨ੍ਹੇ ਹੋਏ ਫਿਲਮ ਕਣਾਂ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ; ਊਰਜਾ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਕਰਕੇ, ਜਮ੍ਹਾ ਹੋਏ ਕਣ ਵਧੇਰੇ ਗਤੀ ਊਰਜਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਨਿਊਕਲੀਏਸ਼ਨ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਨਿਯਮ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ; ਕਿਸੇ ਵੀ ਸਮੇਂ ਝਿੱਲੀ ਦੇ ਟਿਸ਼ੂ 'ਤੇ ਇੱਕ ਸੰਕੁਚਿਤ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਦਾ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਫਿਲਮ ਵਧੇਰੇ ਸੰਘਣੀ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ; ਜੇਕਰ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸ ਆਇਨਾਂ ਨੂੰ ਟੀਕਾ ਲਗਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇੱਕ ਸਟੋਈਚਿਓਮੈਟ੍ਰਿਕ ਮਿਸ਼ਰਿਤ ਪਰਤ ਬਣ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਮਿਸ਼ਰਿਤ ਪਰਤ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿਚਕਾਰ ਕੋਈ ਇੰਟਰਫੇਸ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦਾ।
2. ਆਇਨ ਬੀਮ ਸਹਾਇਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਨ ਲਈ ਆਇਨ ਸਰੋਤ
ਆਇਨ ਬੀਮ ਸਹਾਇਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਜਮ੍ਹਾ ਦੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਇਹ ਹੈ ਕਿ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਦੇ ਪਰਮਾਣੂ (ਜਮ੍ਹਾ ਕਣ) ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਆਇਨ ਸਰੋਤ ਤੋਂ ਘੱਟ ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਆਇਨਾਂ ਦੁਆਰਾ ਲਗਾਤਾਰ ਬੰਬਾਰੀ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਫਿਲਮ ਬਣਤਰ ਬਹੁਤ ਸੰਘਣੀ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਆਇਨ ਬੀਮ ਦੀ ਊਰਜਾ E ≤ 500eV ਹੈ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਆਇਨ ਸਰੋਤਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ: ਕੌਫਮੈਨ ਆਇਨ ਸਰੋਤ, ਹਾਲ ਆਇਨ ਸਰੋਤ, ਐਨੋਡ ਪਰਤ ਆਇਨ ਸਰੋਤ, ਖੋਖਲਾ ਕੈਥੋਡ ਹਾਲ ਆਇਨ ਸਰੋਤ, ਰੇਡੀਓ ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਆਇਨ ਸਰੋਤ, ਆਦਿ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਜੂਨ-30-2023