De apparatuur maakt voornamelijk gebruik van chemische dampdepositie om een oxidefilm te bereiden, die een hoge depositiesnelheid en een hoge filmkwaliteit biedt. Wat de structuur van de apparatuur betreft, wordt de dubbele deurconstructie gebruikt om de klemefficiëntie te verbeteren, en wordt gebruikgemaakt van een modern vloeibaargastoevoersysteem om een stabiele en regelbare stroom te garanderen en de processtabiliteit effectief te waarborgen. De door de apparatuur bereide film heeft een goede waterdampbarrière en een langere stabiele periode in kooktesten.
De apparatuur kan worden toegepast op roestvrij staal, gegalvaniseerde hardware/kunststof onderdelen, glas, keramiek en andere materialen, zoals elektronische producten, led-lichtkralen, medische benodigdheden en andere producten die oxidatiebestendigheid nodig hebben. SiOx-barrièrefolie wordt voornamelijk geproduceerd om waterdamp effectief te blokkeren, corrosie en oxidatie te voorkomen en de levensduur van producten te verlengen.
| Optionele modellen | binnenkamergrootte |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |