Depożizzjoni assistita minn raġġ ta' joni u sors ta' joni ta' enerġija baxxa

1. Id-depożizzjoni assistita minn raġġi ta' joni tuża prinċipalment raġġi ta' joni ta' enerġija baxxa biex tgħin fil-modifika tal-wiċċ tal-materjali.

(1) Karatteristiċi tad-depożizzjoni assistita minn joni

Matul il-proċess tal-kisi, il-partiċelli tal-film depożitati jiġu bbumbardjati kontinwament minn joni ċċarġjati mis-sors tal-joni fuq il-wiċċ tas-sottostrat waqt li jkunu miksija b'raġġi ta' joni ċċarġjati.

(2) Ir-rwol tad-depożizzjoni assistita mill-joni

Jonji ta' enerġija għolja jibbumbardjaw il-partiċelli tal-film marbuta b'mod laxk fi kwalunkwe ħin; Billi jittrasferixxu l-enerġija, il-partiċelli depożitati jiksbu enerġija kinetika akbar, u b'hekk itejbu l-liġi tan-nukleazzjoni u t-tkabbir; Jipproduċu effett ta' kompattazzjoni fuq it-tessut tal-membrana fi kwalunkwe ħin, u b'hekk il-film jikber b'mod aktar dens; Jekk jiġu injettati joni tal-gass reattivi, jista' jiġi ffurmat saff kompost stojkjometriku fuq il-wiċċ tal-materjal, u ma jkun hemm l-ebda interfaċċja bejn is-saff kompost u s-sottostrat.

2. Sors ta' joni għal depożizzjoni assistita minn raġġ ta' joni

Il-karatteristika tad-depożizzjoni assistita minn raġġ ta' joni hija li l-atomi tas-saff tal-film (partiċelli tad-depożizzjoni) jiġu bbumbardjati kontinwament minn joni ta' enerġija baxxa mis-sors tal-joni fuq il-wiċċ tas-sottostrat, u b'hekk l-istruttura tal-film issir densa ħafna u tittejjeb il-prestazzjoni tas-saff tal-film. L-enerġija E tar-raġġ ta' joni hija ≤ 500eV. Sorsi ta' joni użati komunement jinkludu: sors ta' joni Kauffman, sors ta' joni Hall, sors ta' joni tas-saff tal-anodu, sors ta' joni Hall katodiku vojt, sors ta' joni ta' frekwenza tar-radju, eċċ.