ऑक्साईड फिल्म तयार करण्यासाठी उपकरणे प्रामुख्याने रासायनिक वाष्प निक्षेपणाचा वापर करतात, ज्यामध्ये जलद निक्षेपण दर आणि उच्च फिल्म गुणवत्ता ही वैशिष्ट्ये आहेत. उपकरणांच्या संरचनेबद्दल, क्लॅम्पिंग कार्यक्षमता सुधारण्यासाठी दुहेरी दरवाजाची रचना वापरली जाते आणि स्थिर आणि नियंत्रित प्रवाह सुनिश्चित करण्यासाठी आणि प्रक्रिया स्थिरता प्रभावीपणे सुनिश्चित करण्यासाठी नवीनतम द्रव वायू पुरवठा प्रणाली स्वीकारली जाते. उपकरणांनी तयार केलेल्या फिल्ममध्ये पाण्याची वाष्प अडथळा चांगला असतो आणि उकळत्या चाचणीमध्ये जास्त काळ स्थिरता असते.
हे उपकरण स्टेनलेस स्टील, इलेक्ट्रोप्लेटेड हार्डवेअर/प्लास्टिकचे भाग, काच, सिरेमिक्स आणि इतर साहित्य, जसे की इलेक्ट्रॉनिक उत्पादने, एलईडी लाईट बीड्स, वैद्यकीय पुरवठा आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोधकतेची आवश्यकता असलेल्या इतर उत्पादनांवर लागू केले जाऊ शकते. SiOx बॅरियर फिल्म प्रामुख्याने पाण्याची वाफ प्रभावीपणे रोखण्यासाठी, गंज आणि ऑक्सिडेशन रोखण्यासाठी आणि उत्पादनाचे आयुष्य सुधारण्यासाठी तयार केली जाते.
| पर्यायी मॉडेल्स | आतील चेंबरचा आकार |
| झेडएचसीव्हीडी१२०० | φ१२००*एच१९५०(मिमी) |