रिअॅक्टिव्ह मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग म्हणजे कंपाऊंड फिल्म तयार करण्यासाठी स्पटरिंग प्रक्रियेत स्पटर केलेल्या कणांसह प्रतिक्रिया देण्यासाठी रिअॅक्टिव्ह गॅस पुरवला जातो. ते एकाच वेळी स्पटरिंग कंपाऊंड लक्ष्यासह प्रतिक्रिया देण्यासाठी रिअॅक्टिव्ह गॅस पुरवू शकते आणि दिलेल्या रासायनिक गुणोत्तरासह कंपाऊंड फिल्म तयार करण्यासाठी एकाच वेळी स्पटरिंग धातू किंवा मिश्र धातु लक्ष्यासह प्रतिक्रिया देण्यासाठी रिअॅक्टिव्ह गॅस देखील पुरवू शकते. कंपाऊंड फिल्म तयार करण्यासाठी रिअॅक्टिव्ह मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंगची वैशिष्ट्ये अशी आहेत:
(१) रिअॅक्टिव्ह मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग (सिंगल एलिमेंट टार्गेट किंवा मल्टी-एलिमेंट टार्गेट) आणि रिअॅक्शन वायूंसाठी वापरले जाणारे टार्गेट मटेरियल उच्च शुद्धता मिळवणे सोपे आहे, जे उच्च-शुद्धता कंपाऊंड फिल्म्स तयार करण्यासाठी अनुकूल आहे.
(२) रिऍक्टिव्ह मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंगमध्ये, डिपॉझिशन प्रोसेस पॅरामीटर्स समायोजित करून, कंपाऊंड फिल्म्सचे रासायनिक गुणोत्तर किंवा गैर-रासायनिक गुणोत्तर तयार केले जाऊ शकते, जेणेकरून फिल्मची रचना समायोजित करून फिल्मची वैशिष्ट्ये नियंत्रित करण्याचा उद्देश साध्य करता येईल.
(३) रिऍक्टिव्ह मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग डिपॉझिशन प्रक्रियेदरम्यान सब्सट्रेटचे तापमान सामान्यतः खूप जास्त नसते आणि फिल्म तयार करण्याच्या प्रक्रियेत सहसा सब्सट्रेटला खूप जास्त तापमानात गरम करण्याची आवश्यकता नसते, त्यामुळे सब्सट्रेट मटेरियलवर कमी निर्बंध असतात.
(४) रिअॅक्टिव्ह मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग हे मोठ्या क्षेत्राच्या एकसंध पातळ फिल्म तयार करण्यासाठी योग्य आहे आणि एकाच मशीनमधून वार्षिक दहा लाख चौरस मीटर कोटिंग उत्पादनासह औद्योगिक उत्पादन साध्य करू शकते. बर्याच प्रकरणांमध्ये, स्पटरिंग दरम्यान रिअॅक्टिव्ह गॅसचे निष्क्रिय गॅसमध्ये गुणोत्तर बदलून फिल्मचे स्वरूप बदलता येते. उदाहरणार्थ, फिल्म धातूपासून अर्धवाहक किंवा नॉन-मेटलमध्ये बदलता येते.
——या लेखात आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेनहुआ जारी
पोस्ट वेळ: ऑगस्ट-३१-२०२३