Тоног төхөөрөмж нь оксидын хальс бэлтгэхийн тулд химийн уурын хуримтлалыг голчлон ашигладаг бөгөөд энэ нь хурдан тунадасжих хурд, өндөр хальстай шинж чанартай байдаг. Тоног төхөөрөмжийн бүтцийн хувьд хавчих үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд давхар хаалганы бүтцийг ашигладаг бөгөөд тогтвортой, хяналттай урсгалыг хангах, үйл явцын тогтвортой байдлыг үр дүнтэй хангахын тулд хамгийн сүүлийн үеийн шингэн хийн хангамжийн системийг нэвтрүүлсэн. Тоног төхөөрөмжөөр бэлтгэсэн хальс нь усны уурын сайн саадтай, буцалгах туршилтын хугацаанд тогтвортой байдаг.
Тоног төхөөрөмжийг зэвэрдэггүй ган, цахилгаанаар бүрсэн тоног төхөөрөмж / хуванцар эд анги, шил, керамик болон бусад материал, тухайлбал электрон бүтээгдэхүүн, LED гэрлийн бөмбөлгүүдийг, эмнэлгийн хэрэгсэл болон исэлдэлтийн эсэргүүцэл шаардлагатай бусад бүтээгдэхүүнд хэрэглэж болно. SiOx хамгаалалтын хальс нь голчлон усны уурыг үр дүнтэй хаах, зэврэлт, исэлдэлтээс урьдчилан сэргийлэх, бүтээгдэхүүний ашиглалтын хугацааг сайжруулахад зориулагдсан.
| Нэмэлт загварууд | дотоод тасалгааны хэмжээ |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(мм) |