No1 TGV шилэн цооногоор бүрэх технологийн тойм
TGV шилэн нүхээр бүрэх нь шилэн дэвсгэрт нүх гаргаж, дотоод ханыг нь металлжуулж, өндөр нягтралтай цахилгаан холболтыг бий болгодог шинэхэн микроэлектрон савлагааны технологи юм. Уламжлалт TSV (Through Silicon Via) болон органик субстраттай харьцуулахад TGV шил нь дохионы алдагдал бага, ил тод байдал, дулааны тогтвортой байдал зэрэг давуу талтай. Эдгээр шинж чанарууд нь TGV-ийг 5G холбоо, оптоэлектроник сав баглаа боодол, MEMS мэдрэгч зэрэгт ашиглахад тохиромжтой болгодог.
No2 Зах зээлийн хэтийн төлөв: TGV Glass яагаад хүмүүсийн анхаарлыг татаж байна вэ?
Өндөр давтамжийн харилцаа холбоо, оптоэлектроник интеграцчлал, дэвшилтэт сав баглаа боодлын технологи хурдацтай хөгжихийн хэрээр TGV шилний эрэлт хэрэгцээ байнга нэмэгдэж байна.
5G ба миллиметр долгионы харилцаа холбоо: TGV шилний алдагдал багатай шинж чанар нь антен, шүүлтүүр зэрэг өндөр давтамжийн RF төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой.
Оптоэлектроник сав баглаа боодол: Шилний тунгалаг чанар нь цахиурын фотоник болон LiDAR зэрэг хэрэглээнд давуу талтай.
MEMS мэдрэгчийн сав баглаа боодол: TGV шил нь өндөр нягтралтай харилцан холболтыг идэвхжүүлж, мэдрэгчийг жижигрүүлэх, гүйцэтгэлийг сайжруулдаг.
Нарийвчилсан хагас дамжуулагч сав баглаа боодол: Чиплет технологи хөгжихийн хэрээр TGV шилэн субстрат нь өндөр нягтралтай сав баглаа боодолд чухал ач холбогдолтой.
No3 TGV шилэн PVD бүрэх нарийвчилсан үйл явц
TGV шилэн PVD бүрээсийг металлжуулах нь цахилгааны харилцан холболтыг бий болгохын тулд дамжуулагч материалыг судлын дотоод хананд байрлуулах явдал юм. Ердийн үйл явц нь дараахь зүйлийг агуулна.
1. TGV шилэн цооног үүсгэх: Лазер өрөмдлөг (UV/CO₂ лазер), нойтон сийлбэр, эсвэл хуурай сийлбэр ашиглан TGV шилийг үүсгэж, дараа нь цэвэрлэнэ.
2. Гадаргуугийн боловсруулалт: Шил ба металлжих давхаргын наалдацыг сайжруулахын тулд плазм эсвэл химийн боловсруулалт хийдэг.
3. Үрийн давхаргын хуримтлал: PVD (физик уурын хуримтлал) эсвэл CVD (химийн уурын хуримтлал) нь нүхний ханаар шилэн дээр металл үрийн давхаргыг (жишээ нь: зэс, титан/зэс, палладий) буулгахад ашигладаг.
4. Цахилгаанаар бүрэх: Цахилгаанаар бүрэх замаар дамжуулагч зэсийг үрийн давхарга дээр хуримтлуулж, эсэргүүцэл багатай харилцан холболтыг бий болгодог.
5. Эмчилгээний дараа: Илүүдэл металлыг зайлуулж, найдвартай байдлыг сайжруулахын тулд гадаргууг идэвхгүйжүүлнэ.
No4 Процессын сорилтууд: TGV шилэн гүн нүхний бүрэх машины сорилтууд
TGV шилэн гүн цооног бүрэх машин нь ирээдүйтэй хэдий ч техникийн хэд хэдэн бэрхшээлтэй тулгардаг.
1. TGV шилэн гүн нүхний өнгөлгөөний жигд байдал : Шилэн гүний нүх нь өндөр харьцаатай (5:1-ээс 10:1) ихэвчлэн үүдэнд металл хуримтлагдаж, доод хэсэгт дүүргэлт хангалтгүй байдаг.
2. Үрийн давхаргын тунадас: Шил нь тусгаарлагч тул ханан дээр өндөр чанартай дамжуулагч үрийн давхаргыг суулгахад хэцүү болгодог.
3. Стрессийг хянах: Металл болон шилний дулааны тэлэлтийн коэффициентүүдийн зөрүү нь эвдрэх, хагарахад хүргэдэг.
4. Шилэн гүн нүхний давхаргын наалдац: Шилний гөлгөр гадаргуу нь металлын наалдацыг сулруулж, гадаргуугийн оновчтой боловсруулалтын процессыг шаарддаг.
5. Масс үйлдвэрлэл ба зардлын хяналт: Төмөрлөгийн үр ашгийг дээшлүүлж, зардлыг бууруулах нь TGV технологийг арилжаанд нэвтрүүлэхэд чухал ач холбогдолтой.
№5 Zhenhua Vacuum-ийн TGV шилэн PVD бүрэх төхөөрөмжийн шийдэл – Хэвтээ бүрэх шугаман бүрээс
Тоног төхөөрөмжийн давуу тал:
1. Шилэн цооногийг металлжуулах онцгой технологи
Zhenhua Vacuum-ийн өмчлөлийн шилэн цооногийг металлжуулах бүрэх технологи нь 30 микрон хүртэлх жижиг нүхэнд ч гэсэн 10:1 хүртэлх харьцаатай шилийг нүхээр дамжуулах чадвартай.
2. Өөр өөр хэмжээтэй тохируулах боломжтой
600×600мм, 510×515мм ба түүнээс дээш хэмжээтэй янз бүрийн хэмжээтэй шилэн дэвсгэрийг дэмждэг.
3. Үйл явцын уян хатан байдал
Cu, Ti, W, Ni, Pt гэх мэт дамжуулагч эсвэл функциональ нимгэн хальсан материалтай нийцэж, цахилгаан дамжуулах чанар, зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлын олон төрлийн хэрэглээний шаардлагыг хангадаг.
4. Тогтвортой гүйцэтгэл, хялбар засвар үйлчилгээ
Параметрийг автоматаар тохируулах, хальсны зузааны жигд байдлыг бодит цаг хугацаанд хянах ухаалаг хяналтын системээр тоноглогдсон. Модульчлагдсан загвар нь засвар үйлчилгээ хийхэд хялбар, сул зогсолтыг багасгадаг.
Хэрэглээний хамрах хүрээ: TGV/TSV/TMV дэвшилтэт савлагаанд тохиромжтой, нүхний гүний харьцаа ≥ 10:1-тэй нүхээр үрийн давхаргыг бүрэх боломжтой.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнTGV шилэн нүхээр бүрэх машин үйлдвэрлэгчЖэнхуа вакуум
Шуудангийн цаг: 2025-03-07