Реактив магнетрон цацах гэдэг нь нийлмэл хальс үүсгэхийн тулд шүрших явцад цацагдсан тоосонцортой урвалд орохын тулд реактив хий нийлүүлдэг гэсэн үг юм. Энэ нь шүршигч нэгдлийн зорилтот бодистой нэгэн зэрэг урвалд орох реактив хийг нийлүүлэхээс гадна өгөгдсөн химийн харьцаатай нийлмэл хальс бэлтгэхийн тулд шүршигч металл эсвэл хайлштай урвалд орох реактив хий нийлүүлэх боломжтой. Нийлмэл хальс бэлтгэхийн тулд реактив магнетрон цацах шинж чанарууд нь:
(1) Реактив магнетрон цацах (нэг элементийн зорилтот эсвэл олон элементийн зорилтот) болон урвалын хийд ашигладаг зорилтот материалууд нь өндөр цэвэршилтийг авахад хялбар байдаг бөгөөд энэ нь өндөр цэвэршилттэй нийлмэл хальс бэлтгэхэд тохиромжтой.
(2) Реактив магнетрон цацах үед тунадасжуулах үйл явцын параметрүүдийг тохируулснаар хальсны найрлагыг тохируулах замаар хальсны шинж чанарыг зохицуулах зорилгод хүрэхийн тулд нийлмэл хальсны химийн харьцаа эсвэл химийн бус харьцааг бэлтгэж болно.
(3) Реактив магнетрон цацах үйл явцын үед субстратын температур ерөнхийдөө тийм ч өндөр биш бөгөөд хальс үүсгэх процесс нь ихэвчлэн субстратыг маш өндөр температурт халаахыг шаарддаггүй тул субстратын материалд бага хязгаарлалт тавьдаг.
(4) Реактив магнетрон шүрших нь том талбай бүхий нэгэн төрлийн нимгэн хальс бэлтгэхэд тохиромжтой бөгөөд нэг машинаас жилд нэг сая квадрат метр бүрэх үйлдвэрлэх үйлдвэржсэн үйлдвэрлэлд хүрэх боломжтой. Ихэнх тохиолдолд шүрших явцад реактив хий ба инертийн хийн харьцааг өөрчлөх замаар хальсны шинж чанарыг өөрчилж болно. Жишээлбэл, хальсыг металлаас хагас дамжуулагч эсвэл металл бус болгон өөрчилж болно.
--Энэ нийтлэлд байнавакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа суллагдсан
Шуудангийн цаг: 2023 оны 8-р сарын 31-ний хооронд