റിയാക്ടീവ് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് എന്നാൽ സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ സ്പട്ടറിംഗ് ചെയ്ത കണങ്ങളുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് ഒരു സംയുക്ത ഫിലിം നിർമ്മിക്കുന്നതിന് റിയാക്ടീവ് വാതകം വിതരണം ചെയ്യുന്നു എന്നാണ്. സ്പട്ടറിംഗ് സംയുക്ത ലക്ഷ്യവുമായി ഒരേ സമയം പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് റിയാക്ടീവ് വാതകം നൽകാൻ ഇതിന് കഴിയും, കൂടാതെ നൽകിയിരിക്കുന്ന രാസ അനുപാതമുള്ള ഒരു സംയുക്ത ഫിലിം തയ്യാറാക്കുന്നതിന് ഒരേ സമയം സ്പട്ടറിംഗ് ലോഹവുമായോ അലോയ് ലക്ഷ്യവുമായോ പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് റിയാക്ടീവ് വാതകം നൽകാനും ഇതിന് കഴിയും. സംയുക്ത ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കുന്നതിനുള്ള റിയാക്ടീവ് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെ സവിശേഷതകൾ ഇവയാണ്:
(1) റിയാക്ടീവ് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിനായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾ (സിംഗിൾ എലമെന്റ് ടാർഗെറ്റ് അല്ലെങ്കിൽ മൾട്ടി-എലമെന്റ് ടാർഗെറ്റ്) കൂടാതെ റിയാക്ഷൻ വാതകങ്ങളും ഉയർന്ന ശുദ്ധി നേടാൻ എളുപ്പമാണ്, ഇത് ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള സംയുക്ത ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കുന്നതിന് സഹായകമാണ്.
(2) റിയാക്ടീവ് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിൽ, ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രോസസ് പാരാമീറ്ററുകൾ ക്രമീകരിച്ചുകൊണ്ട്, സംയുക്ത ഫിലിമുകളുടെ രാസ അനുപാതമോ നോൺ-കെമിക്കൽ അനുപാതമോ തയ്യാറാക്കാൻ കഴിയും, അങ്ങനെ ഫിലിമിന്റെ ഘടന ക്രമീകരിച്ചുകൊണ്ട് ഫിലിം സ്വഭാവസവിശേഷതകളെ നിയന്ത്രിക്കുന്നതിന്റെ ലക്ഷ്യം കൈവരിക്കാനാകും.
(3) റിയാക്ടീവ് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രക്രിയയിൽ അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ താപനില സാധാരണയായി വളരെ ഉയർന്നതല്ല, കൂടാതെ ഫിലിം രൂപീകരണ പ്രക്രിയയ്ക്ക് സാധാരണയായി അടിവസ്ത്രം വളരെ ഉയർന്ന താപനിലയിലേക്ക് ചൂടാക്കേണ്ട ആവശ്യമില്ല, അതിനാൽ അടിവസ്ത്ര മെറ്റീരിയലിൽ നിയന്ത്രണങ്ങൾ കുറവാണ്.
(4) വലിയ വിസ്തീർണ്ണമുള്ള ഏകതാനമായ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കുന്നതിന് റിയാക്ടീവ് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് അനുയോജ്യമാണ്, കൂടാതെ ഒരൊറ്റ മെഷീനിൽ നിന്ന് ഒരു ദശലക്ഷം ചതുരശ്ര മീറ്റർ കോട്ടിംഗിന്റെ വാർഷിക ഉൽപാദനത്തിലൂടെ വ്യാവസായിക ഉൽപാദനം നേടാൻ കഴിയും. പല സന്ദർഭങ്ങളിലും, സ്പട്ടറിംഗ് സമയത്ത് റിയാക്ടീവ് വാതകത്തിന്റെയും നിഷ്ക്രിയ വാതകത്തിന്റെയും അനുപാതം മാറ്റുന്നതിലൂടെ ഫിലിമിന്റെ സ്വഭാവം മാറ്റാൻ കഴിയും. ഉദാഹരണത്തിന്, ഫിലിം ലോഹത്തിൽ നിന്ന് അർദ്ധചാലകത്തിലേക്കോ അലോഹത്തിലേക്കോ മാറ്റാം.
——ഈ ലേഖനത്തിൽവാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്Guangdong Zhenhua പുറത്തിറക്കി
പോസ്റ്റ് സമയം: ഓഗസ്റ്റ്-31-2023