Волфрамскиот филамент се загрева на висока температура, при што емитира жешки електрони за да емитува електронски поток со висока густина, а во исто време забрзувачка електрода е поставена да ги забрза жешките електрони во електронски поток со висока енергија. При проток на електрони со висока густина и висока енергија, може да се јонизира повеќе хлор, да се јонизираат повеќе атоми од металниот филм за да се добие повеќе хлоридни јони за да се подобри брзината на распрскување, со што се зголемува брзината на таложење: може да се јонизира повеќе метал за да се подобри брзината на јонизација на металот, што придонесува за реакција на таложење на соединението филм; јоните од металниот филм за да стигнат до работното парче за да се подобри густината на струјата на работното парче, со што се зголемува брзината на таложење.
Во цврстиот слој со магнетронско распрскување, густината на струјата и организацијата на филмот на предниот и задниот дел од работното парче се зголемуваат при топла катодизација. TiSiCN пред додавање на топла катода, густината на струјата на работното парче е само 0,2mA/mm2, по зголемувањето на топлата катода на 4,9mA/mm2, што е еквивалентно на зголемување од околу 24 пати, а организацијата на филмот е погуста. Може да се види дека во технологијата на магнетронско распрскување, додавањето на топла катода е многу ефикасно во подобрувањето на брзината на таложење со магнетронско распрскување и активноста на честичките на филмот. Оваа технологија може значително да го подобри животниот век на лопатките на турбината, клиповите на пумпи за кал и деловите за мелница.
– Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 11 октомври 2023 година