1.Ion beam assisted deposition te nuinga whakamahi iti pūngao katote kurupae ki te āwhina i roto i te whakarerekētanga mata o rauemi.
(1) Nga ahuatanga o te whakahekenga awhina katote
I te wa o te whakakikoruatanga, ka pupuhi tonu nga matūriki kiriata kua penapenahia e nga katote katote mai i te puna katote i runga i te mata o te tïpako i te wa e pania ana ki nga kurupae katote.
(2) Te mahi a te katote i awhina i te waipara
Ko nga katote kaha teitei ka pupuhi i nga matūriki kiriata kua herea i nga wa katoa; Ma te whakawhiti i te kaha, ka nui ake te kaha o nga matūriki kua penapena, na reira ka pai ake te ture o te nucleation me te tipu; Te whakaputa i te awenga whakatiki ki te kiko kiriuhi i nga wa katoa, ka tipu ake te kiriata; Mena ka werohia nga katote hau hohenga, ka taea te hanga he paparanga stoichiometric ki runga i te mata o te papanga, karekau he atanga i waenga i te paparanga pūhui me te tïpako.
2. Te puna katote mo te whakahekenga awhina kurupae katote
Ko te ahuatanga o te katote kurupae awhina waipara ko nga ngota paparanga kiriata (matūriki waipara) kei te puhipuhi tonuhia e te iti o te kaha o nga katote mai i te puna katote i runga i te mata o te tïpako, na te hanga o te kiriata he tino kiko me te whakapai ake i te mahi o te paparanga kiriata. Ko te pūngao E o te kurupae katote he ≤ 500eV. Ko nga puna katote e whakamahia ana ko: Kauffman te puna katote, te puna katote Hall, te puna katote paparanga anode, te puna katote hollow cathode, te puna katote reo irirangi, me era atu.
Wā tuku: Hune-30-2023