Ko te pupuhi o te magnetron reactive te tikanga ka tukuna te hau hohenga ki te tauhohe me nga matūriki karekau i roto i te tukanga o te pupuhi ki te whakaputa i te kiriata pūhui. Ka taea e ia te tuku hau tauhohenga ki te tauhohe ki te whaainga puhui puhoi i te wa ano, ka taea hoki te tuku hau tauhohenga ki te tauhohe ki te kowiri pupuhi, te koranu koranu ranei i te wa ano ki te whakarite i tetahi kiriata pūhui me te tauwehenga matū kua hoatu.
(1) Ko nga rauemi e whakamahia ana mo te pupuhi magnetron reactive (kotahi te whaainga huānga, he maha nga waahanga maha ranei) me nga hau tauhohenga he ngawari ki te whiwhi parakore teitei, e pai ana ki te whakarite i nga kiriata pūhui parakore teitei.
(2) I roto i te reactive magnetron sputtering, ma te whakatika i nga tawhā tukanga waipara, ōwehenga matū, ōwehenga kore-matū ranei o nga kiriata pūhui ka taea te whakarite, kia tutuki ai te kaupapa o te whakahaere i nga ahuatanga o te kiriata ma te whakatika i te hanganga o te kiriata.
(3) Ko te pāmahana o te tïpako i te nuinga o te wa kare i tino teitei i te wa o te whakangao o te magnetron sputtering tukanga, a ko te tikanga hanga kiriata kaore e hiahiatia kia whakamahana te tïpako ki nga wera tino tiketike, no reira he iti noa nga here i runga i te rauemi tïpako.
(4) Reactive magnetron sputtering he pai mo te whakarite i nga kiriata angiangi riterite-nui, ka taea te whakatutuki i nga mahi ahumahi me te whakaputanga o te tau kotahi miriona mita tapawha o te paninga mai i te miihini kotahi. I te nuinga o nga wa, ka taea te whakarereke i te ahua o te kiriata ma te huri noa i te ōwehenga o te hau reactive ki te hau inert i te wa e pupuhi ana. Hei tauira, ka taea te huri i te kiriata mai i te whakarewa ki te semiconductor, kore-whakarewa ranei.
——Na tenei tuhingakaihanga miihini whakakikorua korehauI tukuna a Guangdong Zhenhua
Wā tuku: Akuhata-31-2023