Ny fametahana magnetron reactive dia midika fa ny entona mihetsiketsika dia omena mba hihetsika amin'ny poti-javatra mipoitra eo amin'ny dingan'ny sputtering mba hamokarana sarimihetsika mitambatra. Afaka manome entona mihetsiketsika mba hihetsika miaraka amin'ny kendrena mitambatra amin'ny sputtering amin'ny fotoana iray ihany, ary afaka mamatsy entona mihetsiketsika ihany koa mba hihetsika amin'ny vy na firaka lasibatra miaraka amin'ny fotoana iray hanomanana sarimihetsika miaraka amin'ny ratios simika nomena.
(1) Ny fitaovana kendrena ampiasaina ho an'ny reactive magnetron sputtering (single tokana tanjona na multi-singa kendrena) sy ny entona fanehoan-kevitra dia mora ny mahazo ny fahadiovana avo, izay mahasoa amin'ny fanomanana ny avo-fidio madio fitambarana sarimihetsika.
(2) Ao amin'ny reactive magnetron sputtering, amin'ny alalan'ny fanitsiana ny deposition dingana masontsivana, simika tahan'ny na tsy simika tahan'ny ny fitambaran'ny sarimihetsika dia azo omanina, mba hahatratrarana ny tanjona amin'ny fanaraha-maso ny sarimihetsika toetra amin'ny fanitsiana ny firafitry ny sarimihetsika.
(3) Ny mari-pana amin'ny substrate amin'ny ankapobeny dia tsy avo loatra mandritra ny fizotran'ny deposition magnetron sputtering, ary ny fizotran'ny famolavolana sarimihetsika matetika dia tsy mitaky ny hafanana amin'ny hafanana avo be, noho izany dia misy famerana kely kokoa amin'ny fitaovana substrate.
(4) Reactive magnetron sputtering dia mety amin'ny fanomanana ny faritra lehibe homogeneous sarimihetsika manify, ary afaka hahatratra indostrialy famokarana amin'ny vokatra isan-taona ny iray tapitrisa metatra toradroa coating avy amin'ny milina tokana. Amin'ny toe-javatra maro, ny toetran'ny sarimihetsika dia azo ovaina amin'ny alàlan'ny fanovana fotsiny ny tahan'ny entona mihetsiketsika amin'ny entona inert mandritra ny sputtering. Ohatra, ny sarimihetsika dia azo ovaina avy amin'ny metaly ho semiconductor na tsy metaly.
——Ity lahatsoratra ity dia mananaVacuum coating mpanamboatra milinaNavoaka i Guangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Aug-31-2023