Reaktīvā magnetrona izsmidzināšana nozīmē, ka izsmidzināšanas procesā tiek piegādāta reaktīvā gāze, lai reaģētu ar izsmidzināšanas daļiņām, veidojot savienojuma plēvi. Tā var piegādāt reaktīvo gāzi, lai vienlaikus reaģētu ar izsmidzināšanas savienojuma mērķi, un var arī piegādāt reaktīvo gāzi, lai vienlaikus reaģētu ar izsmidzināšanas metāla vai sakausējuma mērķi, veidojot savienojuma plēvi ar noteiktu ķīmisko attiecību. Reaktīvās magnetrona izsmidzināšanas īpašības savienojuma plēvju pagatavošanai ir šādas:
(1) Mērķa materiāli, ko izmanto reaktīvajai magnetrona izsmidzināšanai (viena elementa mērķis vai daudzelementu mērķis), un reakcijas gāzes ir viegli iegūstamas ar augstu tīrības pakāpi, kas veicina augstas tīrības pakāpes savienojumu plēvju sagatavošanu.
(2) Reaktīvā magnetrona izsmidzināšanā, pielāgojot nogulsnēšanas procesa parametrus, var sagatavot salikto plēvju ķīmisko vai neķīmisko attiecību, lai sasniegtu plēves īpašību regulēšanas mērķi, pielāgojot plēves sastāvu.
(3) Reaktīvās magnetrona izsmidzināšanas nogulsnēšanas procesā substrāta temperatūra parasti nav pārāk augsta, un plēves veidošanas process parasti neprasa substrāta uzsildīšanu līdz ļoti augstām temperatūrām, tāpēc substrāta materiālam ir mazāk ierobežojumu.
(4) Reaktīvā magnetrona izsmidzināšana ir piemērota lielu laukumu homogēnu plāno plēvju sagatavošanai, un ar tās palīdzību var panākt industriālu ražošanu ar viena miljona kvadrātmetru pārklājuma gada jaudu no vienas iekārtas. Daudzos gadījumos plēves raksturu var mainīt, vienkārši mainot reaktīvās gāzes un inertās gāzes attiecību izsmidzināšanas laikā. Piemēram, plēvi var mainīt no metāla uz pusvadītāju vai nemetālu.
——Šajā rakstā irvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua atbrīvota
Publicēšanas laiks: 2023. gada 31. augusts