Reaktyvusis magnetroninis dulkinimas reiškia, kad dulkinimo procese tiekiamos reaktyviosios dujos, kurios reaguoja su dulkinimo metu išpurkštomis dalelėmis ir susidaro junginio plėvelė. Jis gali tiekti reaktyviąsias dujas, kurios tuo pačiu metu reaguoja su dulkinimo junginio taikiniu, ir tuo pačiu metu gali tiekti reaktyviąsias dujas, kurios reaguoja su dulkinimo metalo ar lydinio taikiniu, ir susidaro junginio plėvelė su tam tikru cheminiu santykiu. Reaktyviojo magnetroninio dulkinimo, skirto junginio plėvelėms gauti, charakteristikos yra šios:
(1) Reaktyviajam magnetroniniam purškimui naudojamos tikslinės medžiagos (vieno elemento arba daugiaelementis taikinys) ir reakcijos dujos yra lengvai gaunamos didelio grynumo, o tai padeda paruošti didelio grynumo sudėtines plėveles.
(2) Reaktyviojo magnetroninio dulkinimo metu, reguliuojant nusodinimo proceso parametrus, galima paruošti sudėtinių plėvelių cheminį arba necheminį santykį, kad būtų pasiektas plėvelės savybių reguliavimo tikslas, koreguojant plėvelės sudėtį.
(3) Reaktyviojo magnetroninio dulkinimo nusodinimo proceso metu pagrindo temperatūra paprastai nėra per aukšta, o plėvelės formavimo procesui paprastai nereikia pagrindo kaitinti iki labai aukštos temperatūros, todėl pagrindo medžiagai yra mažiau apribojimų.
(4) Reaktyvusis magnetroninis purškimas tinka didelio ploto homogeninėms plonoms plėvelėms gaminti ir gali pasiekti pramoninę gamybą, kurios metu viena mašina gali pagaminti milijoną kvadratinių metrų dangos per metus. Daugeliu atvejų plėvelės pobūdį galima pakeisti tiesiog pakeičiant reaktyviųjų dujų ir inertinių dujų santykį purškimo metu. Pavyzdžiui, plėvelė gali būti pakeista iš metalinės į puslaidininkinę arba nemetalinę.
——Šiame straipsnyje yravakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua paleistas
Įrašo laikas: 2023 m. rugpjūčio 31 d.