Reaktivt Magnetronsputteren bedeit, datt reaktivt Gas geliwwert gëtt, fir mat gesputterte Partikelen am Prozess vum Sputteren ze reagéieren, fir e Verbindungsfilm ze produzéieren. Et kann reaktivt Gas geliwwert ginn, fir gläichzäiteg mam Sputterverbindungsziel ze reagéieren, an et kann och reaktivt Gas geliwwert ginn, fir gläichzäiteg mam Sputtermetall- oder Legierungsziel ze reagéieren, fir e Verbindungsfilm mat engem bestëmmte chemesche Verhältnis ze preparéieren. D'Charakteristike vum reaktive Magnetronsputteren fir Verbindungsfilmer ze preparéieren sinn:
(1) D'Zilmaterialien, déi fir reaktiv Magnetronsputtering (Eenzelelement-Zil oder Méielement-Zil) a Reaktiounsgase benotzt ginn, kënne liicht vun héijer Rengheet erreecht ginn, wat fir d'Virbereedung vun héichreine Verbindungsfilmer gëeegent ass.
(2) Beim reaktive Magnetronsputtering kann duerch d'Upassung vun de Parameter vum Oflagerungsprozess e chemescht Verhältnis oder e net-chemescht Verhältnis vu Verbindungsfilmer hiergestallt ginn, fir den Zweck z'erreechen, d'Filmeieigenschaften duerch d'Upassung vun der Zesummesetzung vum Film ze reguléieren.
(3) D'Temperatur vum Substrat ass während dem reaktive Magnetron-Sputtering-Oflagerungsprozess am Allgemengen net ze héich, an de Filmbildungsprozess erfuerdert normalerweis net datt de Substrat op ganz héich Temperaturen erhëtzt gëtt, sou datt et manner Restriktioune fir de Substratmaterial gëtt.
(4) Reaktiv Magnetronsputtering ass gëeegent fir d'Virbereedung vun homogenen Dënnschichten mat grousser Fläch a kann eng industrialiséiert Produktioun mat enger jäerlecher Produktioun vun enger Millioun Quadratmeter Beschichtung aus enger eenzeger Maschinn erreechen. A ville Fäll kann d'Natur vum Film geännert ginn, andeems einfach d'Verhältnes vu Reaktiounsgas zu Inertgas beim Sputtering geännert gëtt. Zum Beispill kann de Film vu Metall op Hallefleeder oder Netmetall geännert ginn.
—— Dësen Artikel huetHiersteller vu VakuumbeschichtungsmaschinnenGuangdong Zhenhua verëffentlecht
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 31. August 2023