No.1 TGV айнек аркылуу тешик каптоо технологиясы
TGV айнек аркылуу тешик каптоо жогорку тыгыздыктагы электрдик байланыштарга жетүү үчүн айнек субстраттарында тешиктерди түзүүнү жана алардын ички дубалдарын металлдаштырууну камтыган өнүгүп келе жаткан микроэлектрондук таңгактоо технологиясы. Салттуу TSV (Through Silicon Via) жана органикалык субстраттарга салыштырмалуу TGV айнеги сигналды аз жоготуу, жогорку тунуктук жана мыкты жылуулук туруктуулугу сыяктуу артыкчылыктарды сунуш кылат. Бул касиеттер TGVди 5G байланышындагы, оптоэлектрондук таңгактагы, MEMS сенсорлору жана башкалар үчүн ылайыктуу кылат.
№2 базар келечеги: TGV айнек эмне үчүн көңүл буруп жатат?
Жогорку жыштыктагы байланыштын, оптоэлектрондук интеграциянын жана өнүккөн таңгактоо технологияларынын тез өнүгүшү менен TGV айнегине суроо-талап тынымсыз өсүп жатат:
5G жана Миллиметрдик толкун байланышы: TGV айнегинин аз жоготуу мүнөздөмөлөрү аны антенналар жана чыпкалар сыяктуу жогорку жыштыктагы RF түзмөктөрү үчүн идеалдуу кылат.
Оптоэлектрондук таңгак: Айнектин жогорку тунуктугу кремний фотоникасы жана LiDAR сыяктуу колдонмолор үчүн пайдалуу.
MEMS Sensor Packaging: TGV айнеги жогорку тыгыздыктагы өз ара байланыштарды камсыздайт, сенсорлордун кичирейтүүсүн жана иштешин жакшыртат.
Өркүндөтүлгөн жарым өткөргүчтүү таңгактоо: Чиплет технологиясынын өсүшү менен TGV айнек субстраттары жогорку тыгыздыктагы таңгактарда олуттуу потенциалга ээ.
No.3 TGV Glass PVD каптоо Detailed Process
TGV Glass PVD каптоосун металлдаштыруу электрдик өз ара байланыштарга жетишүү үчүн өткөргүч материалдарды винанын ички дубалдарына коюуну камтыйт. Кадимки процесс агымы төмөнкүлөрдү камтыйт:
1. TGV айнек аркылуу тешик пайда кылуу: Лазердик бургулоо (UV/CO₂ лазерлери), нымдуу оюу же кургак оюу TGV виасын түзүү үчүн колдонулат, андан кийин тазалоо.
2. Surface тазалоо: плазма же химиялык тазалоо айнек менен металлдаштыруу катмарынын ортосундагы адгезияны күчөтүү үчүн колдонулат.
3. Үрөн катмарын түшүрүү: PVD (физикалык буу чөктүрүүсү) же CVD (химиялык буу катмары) тешик дубалдары аркылуу айнекке металл урук катмарын (мисалы, жез, титан/жез, палладий) салуу үчүн колдонулат.
4. Electroplating: өткөргүч жез аз каршылык менен байланыштарды жетүү үчүн electroplating аркылуу үрөн катмарында депонирленген.
5. Дарылоодон кийин: Ашыкча металл алынып, ишенимдүүлүгүн жогорулатуу үчүн беттик пассивация жүргүзүлөт.
№4 процесстин кыйынчылыктары: TGV айнек терең тешик каптоочу машинанын көйгөйлөрү
Анын келечектүү келечегине карабастан, TGV Glass Deep Hole Coating Machine бир нече техникалык кыйынчылыктарга дуушар болот:
1.Uniformity of TGV Glass Deep Hole Coating : Жогорку пропорциядагы (5:1ден 10:1ге чейин) Glass Deep Hole көбүнчө кире бериште металлдын топтолушунан жана түбүндө жетишсиз толтурулгандан жапа чегишет.
2. Үрөн катмарын түшүрүү: Айнек изолятор болуп саналат, бул аркылуу дубалдарга жогорку сапаттагы өткөргүч үрөн катмарын коюу кыйынга турат.
3. Стресс контролдоо: Металл менен айнектин жылуулук кеңейүү коэффициенттериндеги айырмачылыктар ийилип же жарылууга алып келиши мүмкүн.
4. Айнек Deep Hole каптоо катмарларынын адгезиясы: Айнектин жылмакай бети алсыз металл адгезиясына алып келет, бул оптималдаштырылган беттик тазалоо процесстерин талап кылат.
5. Массалык өндүрүш жана чыгымдарды көзөмөлдөө: металлдаштыруунун натыйжалуулугун жогорулатуу жана чыгымдарды азайтуу TGV технологиясын коммерциялаштыруу үчүн абдан маанилүү.
№5 Zhenhua Vacuum's TGV Glass PVD Coating Equipment Solution – Horizontal Coating In-line Coater
Жабдуу артыкчылыктары:
1. Exclusive Glass Through-Hole Metallization Coating технологиясы
Zhenhua Vacuum компаниясынын менчигиндеги Glass Through-Hole Metallization Coating технологиясы 10:1ге чейинки пропорциядагы айнекти тешиктен өткөрө алат, атүгүл 30 микронго чейинки кичинекей тешиктер үчүн да.
2. Ар кандай өлчөмдөргө ылайыкташтырылган
600×600мм, 510×515мм же андан чоңураак, анын ичинде ар кандай өлчөмдөгү айнек субстраттарын колдойт.
3. Процесстин ийкемдүүлүгү
Cu, Ti, W, Ni жана Pt сыяктуу өткөргүч же функционалдуу жука пленкалуу материалдар менен шайкеш, өткөргүчтүк жана коррозияга туруктуулук үчүн ар кандай колдонуу талаптарына жооп берет.
4. Туруктуу аткаруу жана жеңил тейлөө
Автоматтык параметрлерди жөнгө салуу жана пленканын калыңдыгынын бирдейлигине реалдуу убакыт режиминде мониторинг жүргүзүү үчүн акылдуу башкаруу системасы менен жабдылган. Модулдук дизайн оңой тейлөөнү жана токтоп калуу убактысын азайтат.
Колдонуу чөйрөсү: TGV/TSV/TMV өнүккөн таңгактоо үчүн ылайыктуу, ал тешик тереңдигинин катышы ≥ 10: 1 менен тешиктен үрөн катмарын каптоого жетише алат.
– Бул макаланы чыгарганTGV Glass Through Hole Coating Machine ManufacturerЧжэнхуа вакуум
Посттун убактысы: Март-07-2025