1.Ion нурунун жардамы менен жайгаштыруу негизинен материалдардын беттик модификациясына жардам берүү үчүн аз энергиялуу ион нурларын колдонот.
(1) Иондун жардамы менен чөктүрүүнүн мүнөздөмөлөрү
Каптоо процессинде депонирленген пленка бөлүкчөлөрү заряддуу иондук нурлар менен капталганда субстраттын бетиндеги ион булагынан заряддалган иондор менен үзгүлтүксүз бомбаланат.
(2) Иондун жардамы менен туташтыруунун ролу
Жогорку энергия иондору каалаган убакта эркин байланыштырылган пленка бөлүкчөлөрүн бомбалайт; Энергияны өткөрүп берүү менен, депонирленген бөлүкчөлөр көбүрөөк кинетикалык энергияга ээ болушат, ошону менен ядролук жана өсүү мыйзамы жакшырат; Каалаган убакта мембрана тканына тыгыздалуу эффектин жаратып, пленканы тыгызыраак өстүрөт; Эгерде реактивдүү газ иондору куюлган болсо, анда материалдын бетинде стехиометриялык кошулма катмар түзүлүшү мүмкүн жана кошулма катмар менен субстраттын ортосунда интерфейс болбойт.
2. Ион нурунун жардамы менен жайгаштыруу үчүн ион булагы
Ион нурунун жардамы менен чөктүрүүнүн өзгөчөлүгү - пленка катмарынын атомдору (төкмө бөлүкчөлөр) субстраттын бетиндеги ион булагынан аз энергия иондору менен үзгүлтүксүз бомбаланып, пленка структурасын абдан тыгыз кылып, пленка катмарынын иштешин жакшыртат. Иондук нурдун энергиясы Е ≤ 500эВ. Көбүнчө колдонулган ион булактарына: Кауффман ион булагы, Холл ион булагы, анод катмарынын ион булагы, көңдөй катод Холл ион булагы, радио жыштык ион булагы ж.
Посттун убактысы: 30-июнь-2023