Реактивдүү магнетронду чачыратуу реактивдүү газдын аралашма пленканы алуу үчүн чачыратуу процессинде чачылган бөлүкчөлөр менен реакцияга киришин билдирет. Ал ошол эле учурда чачыраткыч кошулма менен реакцияга кирүү үчүн реактивдүү газ менен камсыздай алат, ошондой эле белгилүү бир химиялык катышы бар кошулма пленканы даярдоо үчүн, ошол эле учурда чачыраткыч металл же эритме бута менен реакцияга кирүүчү реактивдүү газ менен камсыздай алат.
(1) Реактивдүү магнетронду чачыратуу үчүн колдонулган максаттуу материалдар (бир элементтүү максаттуу же көп элементтүү максаттуу) жана реакция газдары жогорку тазалыкты алуу үчүн оңой, бул жогорку тазалыктагы татаал пленкаларды даярдоого шарт түзөт.
(2) Реактивдүү магнетронду чачыратууда, чөкүү процессинин параметрлерин тууралоо жолу менен, химиялык катышы же татаал пленкалардын химиялык эмес катышы пленканын курамын жөнгө салуу аркылуу пленканын мүнөздөмөлөрүн жөнгө салуу максатына жетүү үчүн даярдалышы мүмкүн.
(3) Реактивдүү магнетронду чачуу процессинде субстраттын температурасы көбүнчө өтө жогору эмес жана пленканы түзүү процесси, адатта, субстраттын өтө жогорку температурага чейин ысытылышын талап кылбайт, ошондуктан субстрат материалына азыраак чектөөлөр бар.
(4) Реактивдүү магнетрон чачыратуу чоң аймакты бир тектүү жука пленкаларды даярдоо үчүн ылайыктуу жана бир машинадан бир миллион чарчы метр жабуунун жылдык өндүрүшү менен индустриялаштырылган өндүрүшкө жетише алат. Көпчүлүк учурларда пленканын табиятын чачыратуу учурунда реактивдүү газ менен инерттүү газдын катышын жөн гана өзгөртүү аркылуу өзгөртүүгө болот. Мисалы, пленканы металлдан жарым өткөргүчкө же металл эмеске өзгөртүүгө болот.
——Бул макаладавакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа бошотулду
Посттун убактысы: 31-август-2023