1. Depokirina bi alîkariya tîrêjên îyonî bi giranî tîrêjên îyonî yên enerjiya kêm bikar tîne da ku di guhertina rûyê materyalan de bibe alîkar.
(1) Taybetmendiyên danîna bi alîkariya îyonan
Di dema pêvajoya pêçandinê de, perçeyên fîlmê yên razayî ji aliyê iyonên barkirî yên ji çavkaniya iyonê li ser rûyê substratê ve bi berdewamî têne bombebaran kirin dema ku bi tîrêjên iyonên barkirî têne pêçandin.
(2) Rola danîna bi alîkariya îyonan
Îyonên enerjiya bilind di her kêliyê de perçeyên fîlmê yên bi girêdana sist bombebaran dikin; Bi veguhastina enerjiyê, perçeyên razayî enerjiyeke kînetîk a mezintir bi dest dixin, bi vî awayî qanûna navikbûn û mezinbûnê baştir dikin; Di her kêliyê de bandorek zexmkirinê li ser tevna parzûnê çêdikin, dibin sedema ku fîlm bi stûrtir mezin bibe; Ger îyonên gaza reaktîf werin derzîkirin, li ser rûyê materyalê dikare çîneke pêkhateya stoîkyometrîk çêbibe, û di navbera çîna pêkhate û substratê de tu navber tune ye.
2. Çavkaniya îyonê ji bo danîna bi alîkariya tîrêjên îyonê
Taybetmendiya danîna bi alîkariya tîrêjên îyonan ew e ku atomên qata fîlmê (parçeyên danînê) bi berdewamî ji hêla îyonên enerjiya kêm ji çavkaniya îyonê li ser rûyê substratê ve têne bombebaran kirin, ku avahiya fîlmê pir tîr dike û performansa qata fîlmê baştir dike. Enerjiya E ya tîrêjên îyonan ≤ 500eV e. Çavkaniyên îyonê yên ku bi gelemperî têne bikar anîn ev in: çavkaniya îyonê Kauffman, çavkaniya îyonê Hall, çavkaniya îyonê qata anodê, çavkaniya îyonê Hall a katoda vala, çavkaniya îyonê ya frekansa radyoyê, û hwd.
Dema weşandinê: 30 Hezîran-2023