Rijandina magnetronê ya reaktîf tê wateya ku gaza reaktîf tê dayîn da ku di pêvajoya rijandinê de bi perçeyên rijandî re reaksiyonê bike da ku fîlmek tevlihev çêbike. Ew dikare gaza reaktîf peyda bike da ku di heman demê de bi hedefa tevlihev a rijandinê re reaksiyonê bike, û her weha dikare gaza reaktîf peyda bike da ku di heman demê de bi hedefa metal an alloy a rijandinê re reaksiyonê bike da ku fîlmek tevlihev bi rêjeyek kîmyewî ya diyarkirî amade bike. Taybetmendiyên rijandina magnetronê ya reaktîf ji bo amadekirina fîlmên tevlihev ev in:
(1) Materyalên hedef ên ku ji bo sputterkirina magnetronê ya reaktîf (armanca yek-elementî an hedefa pir-elementî) û gazên reaksiyonê têne bikar anîn, bi hêsanî paqijiya wan bilind e, ku ev yek ji bo amadekirina fîlmên pêkhatî yên paqijiya bilind guncan e.
(2) Di sputterkirina magnetronê ya reaktîf de, bi sererastkirina parametreyên pêvajoya danînê, rêjeya kîmyewî an rêjeya ne-kîmyewî ya fîlmên pêkhatî dikare were amadekirin, da ku bi sererastkirina pêkhateya fîlmê armanca rêkxistina taybetmendiyên fîlmê were bidestxistin.
(3) Germahiya substratê bi gelemperî di dema pêvajoya danîna magnetronê ya reaktîf de ne pir zêde ye, û pêvajoya çêkirina fîlmê bi gelemperî hewce nake ku substrat heta germahiyên pir bilind were germ kirin, ji ber vê yekê sînorkirinên kêmtir li ser materyalê substratê hene.
(4) Sputterkirina magnetronê ya reaktîf ji bo amadekirina fîlmên tenik ên homojen ên rûbera mezin guncaw e, û dikare hilberîna pîşesazî bi hilberîna salane ya yek mîlyon metreçargoşeyî ya pêçandinê ji makîneyek yekane pêk bîne. Di gelek rewşan de, cewherê fîlmê dikare bi tenê guhertina rêjeya gaza reaktîf berbi gaza bêbandor di dema sputterkirinê de were guhertin. Bo nimûne, fîlm dikare ji metalî were guhertin bo nîvconductor an ne-metalî.
——Ev gotar dihewîneçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua serbest hat berdan
Dema şandinê: 31ê Tebaxa 2023an