No.1 TGV 유리 관통홀 코팅 기술 개요
TGV 유리 관통홀 코팅 TGV는 유리 기판에 관통 구멍을 만들고 내벽을 금속화하여 고밀도 전기적 상호 연결을 구현하는 새로운 마이크로전자 패키징 기술입니다. 기존의 TSV(Through Silicon Via) 및 유기 기판과 비교하여 TGV 유리는 낮은 신호 손실, 높은 투명도, 뛰어난 열 안정성과 같은 장점을 제공합니다. 이러한 특성 덕분에 TGV는 5G 통신, 광전자 패키징, MEMS 센서 등의 응용 분야에 적합합니다.
2. 시장 전망: TGV 유리가 주목을 받는 이유는?
고주파 통신, 광전자 집적, 첨단 패키징 기술의 급속한 발전으로 TGV 유리에 대한 수요는 꾸준히 증가하고 있습니다.
5G 및 밀리미터파 통신: TGV 유리의 낮은 손실 특성은 안테나 및 필터와 같은 고주파 RF 장치에 이상적입니다.
광전자 패키징: 유리의 높은 투명성은 실리콘 광자공학 및 LiDAR와 같은 응용 분야에 유리합니다.
MEMS 센서 패키징: TGV 유리는 고밀도 상호 연결을 가능하게 하여 센서의 소형화와 성능을 향상시킵니다.
첨단 반도체 패키징: 칩렛 기술의 발전으로 TGV 유리 기판은 고밀도 패키징 분야에서 상당한 잠재력을 보유하고 있습니다.
No.3 TGV 유리 PVD 코팅 상세 공정
TGV 유리 PVD 코팅의 금속화는 비아(Via) 내벽에 전도성 물질을 증착하여 전기적 상호 연결을 구현하는 과정입니다. 일반적인 공정 흐름은 다음과 같습니다.
1. TGV 유리 관통 구멍 형성: 레이저 드릴링(UV/CO₂ 레이저), 습식 에칭 또는 건식 에칭을 사용하여 TGV 비아를 생성한 다음 세척합니다.
2. 표면 처리: 플라즈마 또는 화학 처리를 적용하여 유리와 금속화 층 사이의 접착력을 향상시킵니다.
3. 시드층 증착: PVD(물리적 기상 증착) 또는 CVD(화학 기상 증착)는 구멍 벽을 통해 유리에 금속 시드층(예: 구리, 티타늄/구리, 팔라듐)을 증착하는 데 사용됩니다.
4. 전기 도금: 전기 도금을 통해 시드층에 전도성 구리를 증착하여 저항이 낮은 상호 연결을 구현합니다.
5. 처리 후: 과도한 금속을 제거하고 표면 패시베이션을 수행하여 신뢰성을 향상시킵니다.
4. 공정 과제: TGV 유리 심공 코팅기의 과제
TGV 유리 심공 코팅 기계는 유망한 전망에도 불구하고 여러 가지 기술적 과제에 직면해 있습니다.
1. TGV 유리 심공 코팅의 균일성: 종횡비가 높은(5:1~10:1) 유리 심공은 종종 비아 입구에 금속이 축적되고 바닥이 충분히 채워지지 않는 문제가 발생합니다.
2. 시드층 증착: 유리는 절연체이기 때문에 비아 벽에 고품질 전도성 시드층을 증착하는 것이 어렵습니다.
3. 응력 제어: 금속과 유리의 열팽창 계수 차이로 인해 휘거나 균열이 생길 수 있습니다.
4. 유리 심공 코팅층의 접착력: 유리의 매끄러운 표면은 금속 접착력을 약화시키므로 최적화된 표면 처리 공정이 필요합니다.
5. 대량 생산 및 비용 관리: 금속화 효율성을 개선하고 비용을 절감하는 것은 TGV 기술의 상용화에 매우 중요합니다.
No.5 Zhenhua Vacuum의 TGV 유리 PVD 코팅 장비 솔루션 – 수평 코팅 인라인 코터
장비 장점:
1. 독점적인 유리 관통홀 금속화 코팅 기술
Zhenhua Vacuum의 독점적인 유리 관통 구멍 금속화 코팅 기술은 30마이크론과 같이 작은 구멍에도 종횡비가 최대 10:1인 유리 관통 구멍을 처리할 수 있습니다.
2. 다양한 크기에 맞게 사용자 정의 가능
600×600mm, 510×515mm 이상 등 다양한 크기의 유리 기판을 지원합니다.
3. 프로세스 유연성
Cu, Ti, W, Ni, Pt 등 전도성 또는 기능성 박막 소재와 호환되어 전도성 및 내식성에 대한 다양한 응용 분야 요구 사항을 충족합니다.
4. 안정적인 성능과 쉬운 유지 보수
자동 매개변수 조정 및 필름 두께 균일도 실시간 모니터링을 위한 지능형 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 모듈식 설계로 유지보수가 간편하고 가동 중단 시간이 단축됩니다.
적용 범위: TGV/TSV/TMV 고급 패키징에 적합하며, 홀 깊이 비율 ≥ 10:1로 홀 시드층 코팅을 달성할 수 있습니다.
–이 기사는 다음에서 발행합니다.TGV 유리 관통홀 코팅기 제조업체젠화 진공
게시 시간: 2025년 3월 7일