លក្ខណៈនៃសមាសធាតុនៃខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលរៀបចំដោយការផ្ទុះមេដែកប្រតិកម្ម

Reactive magnetron sputtering មានន័យថា ឧស្ម័នប្រតិកម្មត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ ដើម្បីធ្វើប្រតិកម្មជាមួយភាគល្អិត sputtered នៅក្នុងដំណើរការនៃការ sputtering ដើម្បីផលិតខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុមួយ។ វាអាចផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នប្រតិកម្មដើម្បីធ្វើប្រតិកម្មជាមួយនឹងគោលដៅសមាសធាតុ sputtering ក្នុងពេលដំណាលគ្នា ហើយក៏អាចផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នប្រតិកម្មដើម្បីធ្វើប្រតិកម្មជាមួយដែក sputtering ឬគោលដៅ alloy ក្នុងពេលតែមួយដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុជាមួយនឹងសមាមាត្រគីមីដែលបានផ្តល់ឱ្យ។ លក្ខណៈនៃ reactive magnetron sputtering ដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុគឺ៖

(1) វត្ថុធាតុគោលដៅដែលប្រើសម្រាប់ការផ្ទុះមេដែកប្រតិកម្ម (គោលដៅធាតុតែមួយ ឬធាតុពហុធាតុ) និងឧស្ម័នប្រតិកម្មគឺមានភាពងាយស្រួលក្នុងការទទួលបានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលអំណោយផលដល់ការរៀបចំខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។

(2) នៅក្នុងការបញ្ចេញមេដែកដែលមានប្រតិកម្ម ដោយការកែតម្រូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃដំណើរការដាក់ប្រាក់ សមាមាត្រគីមី ឬសមាមាត្រមិនគីមីនៃខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុអាចត្រូវបានរៀបចំ ដើម្បីសម្រេចបាននូវគោលបំណងនៃនិយតកម្មលក្ខណៈនៃខ្សែភាពយន្តដោយការកែសម្រួលសមាសភាពនៃខ្សែភាពយន្ត។

(3) ជាទូទៅ សីតុណ្ហភាពនៃស្រទាប់ខាងក្រោមគឺមិនខ្ពស់ពេកទេ កំឡុងពេលដំណើរការនៃការបញ្ចេញសារធាតុ magnetron sputtering ដែលមានប្រតិកម្ម ហើយដំណើរការបង្កើតខ្សែភាពយន្តជាធម្មតាមិនតម្រូវឱ្យស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានកំដៅដល់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ខ្លាំងនោះទេ ដូច្នេះវាមានកម្រិតតិចតួចលើសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម។

(4) ការបាញ់មេដែកដែលមានប្រតិកម្មគឺសមរម្យសម្រាប់ការរៀបចំខ្សែភាពយន្តស្តើងដូចគ្នាដែលមានផ្ទៃដីធំ ហើយអាចសម្រេចបាននូវផលិតកម្មឧស្សាហកម្មជាមួយនឹងទិន្នផលប្រចាំឆ្នាំនៃថ្នាំកូតមួយលានម៉ែត្រការ៉េពីម៉ាស៊ីនតែមួយ។ ក្នុងករណីជាច្រើន លក្ខណៈនៃខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានផ្លាស់ប្តូរដោយគ្រាន់តែផ្លាស់ប្តូរសមាមាត្រនៃឧស្ម័នប្រតិកម្មទៅជាឧស្ម័នអសកម្មកំឡុងពេលបញ្ចេញទឹករំអិល។ ឧទាហរណ៍ ខ្សែភាពយន្តនេះអាចត្រូវបានផ្លាស់ប្តូរពីលោហៈទៅជា semiconductor ឬមិនមែនលោហៈ។

—— អត្ថបទនេះមានក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីGuangdong Zhenhua ចេញផ្សាយ