№1 TGV шыны арқылы саңылауларды жабу технологиясына шолу
TGV шыны тесігі арқылы қаптау жоғары тығыздықтағы электрлік қосылымдарға қол жеткізу үшін шыны негіздерде саңылаулар жасауды және олардың ішкі қабырғаларын металлдандыруды қамтитын дамып келе жатқан микроэлектрондық орау технологиясы. Дәстүрлі TSV (Through Silicon Via) және органикалық субстраттармен салыстырғанда, TGV шыны төмен сигнал жоғалуы, жоғары мөлдірлік және тамаша термиялық тұрақтылық сияқты артықшылықтарды ұсынады. Бұл қасиеттер TGV-ді 5G байланысында, оптоэлектрондық қаптамада, MEMS сенсорларында және т.б. қолданбалар үшін қолайлы етеді.
№2 Нарық перспективалары: TGV Glass неге назар аударады?
Жоғары жиілікті байланыстың, оптоэлектрондық интеграцияның және орауыштың озық технологияларының қарқынды дамуымен TGV шынысына сұраныс тұрақты түрде артып келеді:
5G және миллиметрлік толқын байланысы: TGV шынысының аз шығынды сипаттамалары оны антенналар мен сүзгілер сияқты жоғары жиілікті RF құрылғылары үшін тамаша етеді.
Оптоэлектронды қаптама: Шынының жоғары мөлдірлігі кремний фотоникасы және LiDAR сияқты қолданбалар үшін тиімді.
MEMS сенсорының қаптамасы: TGV шынысы жоғары тығыздықтағы өзара байланыстарды қамтамасыз етеді, сенсорлардың миниатюризациясы мен өнімділігін арттырады.
Жетілдірілген жартылай өткізгішті орау: Chiplet технологиясының өсуімен TGV шыны астары тығыздығы жоғары қаптамада маңызды әлеуетке ие.
№3 TGV шыны PVD жабынының егжей-тегжейлі процесі
TGV шыныдан жасалған PVD жабынының металдануы электрлік өзара байланысқа қол жеткізу үшін өткізгіш материалдарды веноздардың ішкі қабырғаларына қоюды қамтиды. Әдеттегі процесс ағыны мыналарды қамтиды:
1. TGV шыны тесігін қалыптастыру: лазерлік бұрғылау (УК/CO₂ лазерлері), дымқыл ою немесе құрғақ ою TGV жолақтарын жасау үшін қолданылады, содан кейін тазалау.
2. Беттік өңдеу: Шыны мен металдану қабаты арасындағы адгезияны күшейту үшін плазмалық немесе химиялық өңдеу қолданылады.
3. Тұқым қабатын тұндыру: PVD (физикалық бу тұндыру) немесе CVD (химиялық бу тұндыру) тесік қабырғалары арқылы шыныға металл тұқым қабатын (мысалы, мыс, титан/мыс, палладий) тұндыру үшін қолданылады.
4. Электр жабынымен қаптау: Төмен кедергісі бар өзара байланыстарға қол жеткізу үшін электр жабынымен қаптау арқылы өткізгіш мыс тұқым қабатына қойылады.
5. Өңдеуден кейін: артық металды алып тастап, сенімділікті арттыру үшін бетті пассивациялау орындалады.
№4 Процесс қиындықтары: TGV шыны терең саңылауларды жабу машинасының қиындықтары
Өзінің перспективалы перспективаларына қарамастан, TGV шыны терең саңылауларды жабу машинасы бірнеше техникалық қиындықтарға тап болады:
1. TGV шыны терең саңылау жабынының біркелкілігі : Жоғары пропорциялары бар шыны терең тесігі (5:1-ден 10:1) жиі кіреберісте металдың жиналуынан және төменгі жағында жеткіліксіз толтырудан зардап шегеді.
2. Тұқым қабатын тұндыру: Шыны оқшаулағыш болып табылады, бұл қабырғаға жоғары сапалы өткізгіш тұқым қабатын қоюды қиындатады.
3. Стрессті бақылау: Металл мен әйнектің термиялық кеңею коэффициенттеріндегі айырмашылықтар деформацияға немесе крекингке әкелуі мүмкін.
4. Шыны терең саңылау жабынының қабаттарының адгезиясы: Әйнектің тегіс беті металдың әлсіз адгезиясына әкеледі, бұл бетті өңдеудің оңтайландырылған процестерін қажет етеді.
5. Жаппай өндіріс және шығындарды бақылау: металдандыру тиімділігін арттыру және шығындарды азайту TGV технологиясын коммерцияландыру үшін өте маңызды.
№5 Zhenhua Vacuum компаниясының TGV шыныдан жасалған PVD қаптау жабдығы шешімі – Көлденең жабынның ішкі жабыны
Жабдықтың артықшылығы:
1. Эксклюзивті шыны арқылы металдандырылған жабын технологиясы
Zhenhua Vacuum компаниясының меншікті шыны тесігі арқылы металдандырылған жабын технологиясы тіпті 30 микронға дейінгі кішкентай саңылаулар үшін де арақатынасы 10:1-ге дейінгі арақатынасы бар әйнекпен жұмыс істей алады.
2. Әртүрлі өлшемдер үшін теңшеуге болады
600×600мм, 510×515мм немесе одан үлкеніректі қоса, әртүрлі өлшемдегі шыны негіздерді қолдайды.
3. Процесс икемділігі
Cu, Ti, W, Ni және Pt сияқты өткізгіш немесе функционалды жұқа үлбірлі материалдармен үйлесімді, өткізгіштік пен коррозияға төзімділікке арналған әртүрлі қолданбалы талаптарға жауап береді.
4. Тұрақты өнімділік және оңай техникалық қызмет көрсету
Параметрлерді автоматты түрде реттеу және пленка қалыңдығының біркелкілігін нақты уақыт режимінде бақылау үшін интеллектуалды басқару жүйесімен жабдықталған. Модульдік дизайн техникалық қызмет көрсетуді жеңілдетеді және бос уақытты азайтады.
Қолдану аясы: TGV/TSV/TMV жетілдірілген орау үшін қолайлы, ол тесік тереңдігінің арақатынасы ≥ 10:1 болатын саңылау арқылы тұқым қабатын жабуға қол жеткізе алады.
– Бұл мақаланы шығарғанTGV шыны арқылы саңылауларды жабу машинасының өндірушісіЧжэнхуа вакуумы
Жіберу уақыты: 07 наурыз 2025 ж