1.Иондық сәуленің көмегімен тұндыру негізінен материалдардың бетін өзгертуге көмектесу үшін энергиясы төмен иондық сәулелерді пайдаланады.
(1) Иондардың көмегімен тұндыру сипаттамалары
Қаптау процесі кезінде тұндырылған пленка бөлшектері зарядталған иондық сәулелермен қапталған кезде субстрат бетіндегі ион көзінен зарядталған иондармен үздіксіз бомбаланады.
(2) Иондар көмегімен тұндыру рөлі
Жоғары энергия иондары кез келген уақытта бос байланысқан пленка бөлшектерін бомбалайды; Энергияны беру арқылы тұндырылған бөлшектер үлкен кинетикалық энергияға ие болады, осылайша ядролану және өсу заңы жақсарады; Кез келген уақытта қабықша тініне тығыздау әсерін жасаңыз, пленка тығызырақ өседі; Егер реактивті газ иондары айдалса, материалдың бетінде стехиометриялық қосылыс қабаты пайда болуы мүмкін және қосылыс қабаты мен субстрат арасында интерфейс болмайды.
2. Иондық сәуленің көмегімен тұндыру үшін ион көзі
Иондық сәуленің көмегімен тұндыру сипаты пленка қабатының атомдары (тұндыру бөлшектері) субстрат бетіндегі ион көзінен төмен энергия иондарымен үздіксіз бомбаланып, пленка құрылымын өте тығыз етеді және пленка қабатының жұмысын жақсартады. Иондық сәуленің E энергиясы ≤ 500эВ. Жиі қолданылатын ион көздеріне: Кауффман ионының көзі, Холл ионының көзі, анод қабатының ион көзі, қуыс катодты Холл ионының көзі, радиожиілік ионының көзі және т.б.
Жіберу уақыты: 30 маусым-2023 ж