Реактивті магнетронды шашырату реактивті газдың қосынды қабықшаны алу үшін шашырау процесінде шашыраған бөлшектермен әрекеттесу үшін берілетінін білдіреді. Ол бір уақытта шашыратқыш қосылыс нысанасымен әрекеттесу үшін реактивті газды бере алады, сондай-ақ берілген химиялық қатынасы бар құрама пленканы дайындау үшін бір уақытта шашыратқыш металмен немесе қорытпа нысанасымен әрекеттесу үшін реактивті газды бере алады. Құрама пленкаларды дайындау үшін реактивті магнетронды шашырату сипаттамалары:
(1) Реактивті магнетронды шашырату (бір элементті нысана немесе көп элементті мақсат) және реакциялық газдар үшін пайдаланылатын мақсатты материалдар жоғары тазалықты алуға оңай, бұл жоғары таза құрамдас пленкаларды дайындауға қолайлы.
(2) Реактивті магнетронды шашырату кезінде тұндыру процесінің параметрлерін реттеу арқылы пленка құрамын реттеу арқылы пленка сипаттамаларын реттеу мақсатына жету үшін құрама пленкалардың химиялық қатынасы немесе химиялық емес қатынасы дайындалуы мүмкін.
(3) Реактивті магнетронды шашыратқыш тұндыру процесі кезінде субстраттың температурасы әдетте тым жоғары емес және пленканы қалыптастыру процесі әдетте субстратты өте жоғары температураға дейін қыздыруды қажет етпейді, сондықтан субстрат материалына шектеулер азырақ.
(4) Реактивті магнетронды шашырату үлкен аумақты біртекті жұқа қабықшаларды дайындау үшін жарамды және бір машинадан жылына бір миллион шаршы метр жабын шығарумен индустрияланған өндіріске қол жеткізе алады. Көп жағдайда пленканың табиғатын тозаңдату кезінде реактивті газдың инертті газға қатынасын жай ғана өзгерту арқылы өзгертуге болады. Мысалы, пленканы металдан жартылай өткізгішті немесе металл емес етіп өзгертуге болады.
——Бұл мақалада барвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа босатылды
Жіберу уақыты: 31 тамыз 2023 ж