真空ポンプのスペアパーツによくある故障

I. 真空ポンプの付属品は以下のとおりです。
1. オイルミストフィルター（別名：オイルミストセパレーター、排気フィルター、排気フィルターエレメント）
真空ポンプオイルミストセパレーターは、駆動力の作用により、片側に配置された油とガスの混合物から、フィルターペーパーと綿を通して油を分離します。そして油を捕捉し、ガスと真空オイルの分離という動作プロセスを実現します。ろ過された真空ポンプオイルはオイルリターンパイプで再循環され、排出されるのはオイルを含まない排気ガスであるため、無公害で清浄な状態を維持できます。

2.エアフィルター（別名：エアフィルターエレメント）
真空ポンプの摺動空間は非常に小さいため、粒子や汚れを含む異物が摺動面を損傷し、ポンプの摺動面に付着または詰まりが生じ、ポンプが正常に動作しなくなる可能性があります。異物がポンプに吸い込まれるのを防ぐため、フィルターを使用して異物のポンプへの侵入を阻止する必要があります。ろ過されずに除去されずに空気中の不純物がポンプ内に入り込むと、オイルパイプの詰まりや潤滑油の混入につながる可能性があります。そのため、原理的に純正品を選択する必要があります。その後のメンテナンスと修理：真空ポンプのエアフィルターは、フィルター内に残った不純物がポンプに吸い込まれてポンプが詰まるなどの現象を引き起こすのを防ぐため、定期的に清掃する必要があります。

3. オイルフィルター（別名：オイルコンパートメント）
オイルグリッド（オイルフィルターとも呼ばれる）。真空ポンプオイルフィルターは、多くの輸入真空ポンプメーカーが採用しているオイルろ過装置で、ポンプの戻りラインに設置されます。主な目的は、戻りタンク内で発生または侵入する汚染物質を捕捉することです。そのため、システムの汚染濃度を制御するための重要なろ過装置でもあります。

II. 真空ポンプのスペアパーツによくある故障

1. 摩耗
摩耗は真空ポンプのスペアパーツによく見られる故障モードです。1つは潤滑条件下で、スペアパーツ間の接触面の摩擦摩耗であり、ギア、シリンダー、ベーン、ロータースライドベアリング、転がり軸受などでよく発生します。このタイプの摩耗は遅く、摩耗による損失効果は主に潤滑状態やシール状態に関係します。もう1つは、非潤滑条件下で、スペアパーツ同士の摩擦またはスペアパーツ表面の材料摩擦によって生じる摩耗であり、真空ポンプでは特に顕著です。例えば、カップリング、2Xポンププーリー、スクリュー真空ポンプのツインスクリューなどです。このタイプの摩耗速度は前者よりもはるかに速く、主に金属材料の性能と材料の性質に関係します。オイル真空ポンプでは、潤滑中の摩耗が特に顕著で、主に真空ポンプオイルの劣化や異物混入による潤滑不良が原因です。

2.疲労破壊
疲労は故障メカニズムの一つであり、亀裂の発生は故障モードの一つです。これらはしばしばスペアパーツの最終的な破損を引き起こします。この疲労破壊プロセスは、一般的に交番荷重を受けるギア部品に見られます。カップリングボルト、フットボルト、スプリングなどの部品でよく見られるほか、ギア駆動軸などの重要なスペアパーツでも発生します。疲労破壊には多くの要因が関わっているため、原因を特定し対策を講じるには、破損したスペアパーツを詳細に分析する必要があります。

3.変形
変形も真空ポンプのスペアパーツによく見られる故障モードです。ポンプは高速運転時に一定の高温を発生するため、シェルやプレートなどは加熱状態になりやすく、変形が発生しやすくなります。徐々に発生する塑性変形はスペアパーツの元の形状を復元できず、深刻な場合は機器の故障につながります。シールリングやオイルシールなどがその例です。

4.腐食
腐食は、真空ポンプのスペアパーツの故障原因の一つです。これは、プリント基板（PCB）、化学薬品、その他の複雑な条件下で稼働する真空ポンプでよく見られます。
これらのスペアパーツは消耗部品であり、上記のような状況ではスペアパーツを交換する必要があります。真空ポンプが故障した場合は、処理状況を確認し、スペアパーツの故障箇所を特定して、上記の問題に対して適切な対策を講じる必要があります。機器の耐用年数を延ばすためには、定期的なメンテナンスと修理を行い、故障の頻度を減らす必要があります。

マグネトロンスパッタリングコーティング生産ラインは、PLCとパネルを組み合わせた設計を採用しており、生産ライン全体のコンポーネントの稼働状況の全プロセス監視、プロセスパラメータ設定、操作保護、およびアラーム機能を実現する完全な機能メニューを備えています。電気制御システム全体は安全で信頼性が高く安定しています。加熱システムを備え、真空ポンプシステムの真空仕切りは独立したドアバルブを採用しており、真空仕切りは非常に信頼性が高くなっています。真空チャンバーはビルディングブロック構造を採用しており、コーティングチャンバーは機能的な要求に応じて拡張できます。生産ラインのポンプシステムは、メインポンプとして分子ポンプを採用しており、真空チャンバーの排気速度は安定しており、高速で低コストです。

主に板ガラス、アクリル、PETなどの製品へのコーティングに使用され、様々な金属膜、誘電体膜、誘電体金属複合膜、EMIシールド膜、非導電性膜などのフィルム層でコーティングすることができます。