真空ポンプスペアパーツの一般的な故障

I.真空ポンプの付属品は以下の通りです。
1. オイルミストフィルター（別名：オイルミストセパレーター、排気フィルター、排気フィルターエレメント）
真空ポンプのオイルミストセパレーターは、駆動力の作用により、油とガスの混合物の片側を真空ポンプのオイルミストセパレーターのろ紙と綿でろ過します。そして油を捕捉し、ガスと真空オイルを分離する操作プロセスを実現します。ろ過された真空ポンプオイルはオイルリターンパイプを通じて循環され、排出されるオイルフリーの排気ガスは、無公害・クリーン効果を実現します。

2.エアフィルター（別名：エアフィルターエレメント）
真空ポンプの摺動スペースは非常に狭く、粒子や汚れを含む異物は摺動面を傷つけ、ポンプの摺動面に付着したり詰まったりして、ポンプが正常に作動しなくなります。異物がポンプに吸い込まれるのを防ぐには、フィルターを使用してポンプへの侵入をブロックする必要があります。空気中の不純物が濾過・除去されずにポンプに入り込むと、オイルパイプの詰まりや潤滑油の混入につながる可能性があります。そのため、原則として純正品を選択する必要があります。その後のメンテナンスと修理：真空ポンプのエアフィルターは、フィルターに残った不純物がポンプに吸い込まれてポンプが詰まるなどの現象を防ぐために、定期的に清掃する必要があります。

3.オイルフィルター（別名：オイルコンパートメント）
オイルグリッドはオイルフィルターとも呼ばれます。真空ポンプオイルフィルターは、多くの輸入真空ポンプブランドがポンプの戻りラインに設置するオイルろ過装置です。主な目的は、システム内で発生または侵入する汚染物質を戻りタンクで捕捉することです。そのため、システム内の汚染濃度を制御するための重要なろ過装置でもあります。

II.真空ポンプスペアパーツの一般的な故障

1. 摩耗
摩耗は真空ポンプのスペアパーツの一般的な故障モードです。1つは潤滑状態での摩耗で、スペアパーツ間の接触面が摩擦摩耗します。ギア、シリンダー、ベーン、ロータースライドベアリング、転がりベアリングでよく発生します。このタイプの摩耗は遅く、摩耗損失の影響は主に潤滑、シール状態に関係します。もう1つは、無潤滑状態での摩耗で、スペアパーツ同士の摩擦、またはスペアパーツの表面での材料摩擦によって摩耗が発生し、真空ポンプで特に顕著です。カップリング、2Xポンププーリー、スクリュー真空ポンプのツインスクリューなどです。このタイプの摩耗速度は前者よりもはるかに速く、主に金属材料の性能と材料の性質に関係しています。オイル真空ポンプの場合、潤滑中の摩耗が特に顕著で、真空ポンプオイルの劣化や異物による潤滑不良が主な原因です。

2.疲労破壊
疲労は故障メカニズムであり、ひび割れの発生は故障モードの一つです。ひび割れは多くの場合、スペアパーツの最終的な破損を引き起こします。この疲労破壊プロセスは、一般的に交番荷重を受けるギア部品に見られます。カップリングボルト、フットボルト、スプリングなどの部品によく見られ、ギアドライブシャフトなどの重要なスペアパーツにも発生します。疲労破壊には多くの要因が関与しており、原因を特定し対策を講じるには、破損したスペアパーツを詳細に分析する必要があります。

3.変形
変形は真空ポンプのスペアパーツの一般的な故障モードでもあります。ポンプは高速運転時に一定の高温を発生します。シェルやプレートなどは高温状態にあることが多いため、変形が発生しやすくなります。徐々に発生する塑性変形は、スペアパーツの元の形状を復元できず、深刻な場合には機器の故障につながります。例えば、シールリングやオイルシールなどがこれに該当します。

4.腐食
腐食は真空ポンプのスペアパーツの故障原因の一つです。PCB、化学薬品、その他の動作条件など、より複雑なプロセスで稼働する真空ポンプでよく見られます。
これらのスペアパーツは消耗部品であり、上記のような状況では交換が必要です。真空ポンプが故障した場合は、工程を点検し、スペアパーツの故障箇所を特定し、上記の問題に対して適切な対策を講じる必要があります。機器の耐用年数を延ばすためには、定期的なメンテナンスと修理を実施し、故障頻度を低減する必要があります。

マグネトロンスパッタリングコーティング生産ラインは、PLCとパネルを組み合わせた設計を採用し、完全な機能メニューを備え、生産ライン全体のコンポーネントの稼働状況、プロセスパラメータの設定、操作保護、アラーム機能など、全工程の監視を実現します。電気制御システム全体は安全で信頼性が高く、安定しています。加熱システムを備えた真空ポンプシステムの真空仕切りには独立したドアバルブが採用されており、真空仕切りの信頼性は非常に高くなっています。真空チャンバーはビルディングブロック構造を採用し、機能要件に応じてコーティングチャンバーを拡張できます。生産ラインのポンプシステムは、排気用のメインポンプとして分子ポンプを採用しており、真空チャンバーの排気速度は安定しており、高速で低コストです。

主に平らなガラス、アクリル、PET などの製品のコーティングに使用され、さまざまな金属フィルム、誘電体フィルム、誘電体金属複合フィルム、EMI シールドフィルム、非導電性フィルムなどのフィルム層でコーティングできます。