שיקוע בסיוע קרן יונים ומקור יונים באנרגיה נמוכה

1. שיקוע בסיוע קרן יונים משתמש בעיקר בקרני יונים בעלות אנרגיה נמוכה כדי לסייע בשינוי פני השטח של חומרים.

(1) מאפייני שקיעת יונים

במהלך תהליך הציפוי, חלקיקי הסרט המופקדים מופצצים ברציפות על ידי יונים טעונים ממקור היונים על פני השטח של המצע, תוך שהם מצופים בקרני יונים טעונות.

(2) תפקידה של שקיעת יונים בסיוע

יונים בעלי אנרגיה גבוהה מפציצים את חלקיקי הסרט הקשורים באופן רופף בכל עת; על ידי העברת אנרגיה, החלקיקים המופקדים צוברים אנרגיה קינטית גדולה יותר, ובכך משפרים את חוק ההתגרענות והצמיחה; מייצרים אפקט דחיסה על רקמת הממברנה בכל עת, מה שגורם לסרט לגדול בצפיפות רבה יותר; אם מוזרקים יוני גז ריאקטיביים, ניתן ליצור שכבת תרכובת סטוכיומטרית על פני החומר, ואין ממשק בין שכבת התרכובת למצע.

2. מקור יונים לשיקוע בסיוע קרן יונים

המאפיין של שיקוע בסיוע אלומת יונים הוא שאטומי שכבת הסרט (חלקיקי השיקוע) מופצצים ברציפות על ידי יונים בעלי אנרגיה נמוכה ממקור היונים על פני השטח של המצע, מה שהופך את מבנה הסרט לצפוף מאוד ומשפר את ביצועי שכבת הסרט. האנרגיה E של אלומת היונים היא ≤ 500eV. מקורות יונים נפוצים כוללים: מקור יונים קאופמן, מקור יונים הול, מקור יונים בשכבת האנודה, מקור יונים הול ​​בקתודה חלולה, מקור יונים בתדר רדיו וכו'.