Il filamento di tungsteno viene riscaldato ad alta temperatura, emettendo elettroni caldi che generano un flusso di elettroni ad alta densità. Allo stesso tempo, un elettrodo di accelerazione viene impostato per accelerare gli elettroni caldi in un flusso di elettroni ad alta energia. Un flusso di elettroni ad alta densità ed energia può portare a una maggiore ionizzazione del cloro, ionizzando più atomi dello strato di film metallico per ottenere più ioni cloruro e migliorare la velocità di sputtering, aumentando così la velocità di deposizione. Inoltre, può portare a una maggiore ionizzazione del metallo, favorendo la reazione di deposizione del film composito; gli ioni dello strato di film metallico raggiungono il pezzo in lavorazione, migliorandone la densità di corrente e aumentando così la velocità di deposizione.
Nel rivestimento duro con sputtering magnetron, si è assistito a un aumento della densità di corrente e dell'organizzazione del film sul fronte e sul retro del pezzo in lavorazione, in seguito alla catodizzazione a caldo. Prima dell'aggiunta del catodo caldo, la densità di corrente sul pezzo in lavorazione era di soli 0,2 mA/mm², mentre dopo l'aggiunta del catodo caldo a 4,9 mA/mm², il che equivale a un aumento di circa 24 volte, e l'organizzazione del film risultava più densa. Si può osservare che nella tecnologia di rivestimento con sputtering magnetron, l'aggiunta di un catodo caldo è molto efficace nel migliorare la velocità di deposizione e l'attività delle particelle del film. Questa tecnologia può migliorare significativamente la durata di pale di turbine, pistoni di pompe per fanghi e componenti di rettificatrici.
–Questo articolo è pubblicato daproduttore di macchine per rivestimento sotto vuotoGuangdongZhenhua
Data di pubblicazione: 11-ott-2023