Yfirlit yfir tækni nr. 1 í gegnumholuhúðun TGV gleri
TGV glerhúðun í gegnum göt er ný örrafeindatækni sem felur í sér að búa til göt í glerundirlagi og málmhúða innveggi þeirra til að ná fram rafmagnstengingum með mikilli þéttleika. Í samanburði við hefðbundin TSV (í gegnum kísillgöng) og lífræn undirlag býður TGV-gler upp á kosti eins og lítið merkjatap, mikið gegnsæi og framúrskarandi hitastöðugleika. Þessir eiginleikar gera TGV hentugt fyrir notkun í 5G samskiptum, ljósrafrænum umbúðum, MEMS skynjurum og fleiru.
Markaðshorfur nr. 2: Af hverju vekur TGV-gler athygli?
Með hraðri þróun hátíðni samskipta, ljósleiðarasamþættingar og háþróaðrar umbúðatækni eykst eftirspurn eftir TGV gleri stöðugt:
5G og millimetrabylgjusamskipti: Lágtapseiginleikar TGV-glersins gera það tilvalið fyrir hátíðni RF-tæki eins og loftnet og síur.
Ljósfræðileg umbúðir: Mikil gegnsæi glersins er kostur fyrir notkun eins og kísilljósfræði og LiDAR.
MEMS skynjaraumbúðir: TGV gler gerir kleift að tengja saman þéttar tengingar, sem eykur smækkun og afköst skynjara.
Háþróuð hálfleiðaraumbúðir: Með tilkomu Chiplet-tækni hafa TGV glerundirlag mikla möguleika í umbúðum með mikilli þéttleika.
Nr. 3 TGV gler PVD húðun ítarleg aðferð
Málmmyndun TGV gler PVD húðunar felur í sér að leiðandi efni eru sett á innveggi gönganna til að ná fram rafmagnstengingum. Algengt ferli felur í sér:
1. Myndun TGV-glergöt: Leysiborun (UV/CO₂ leysir), blautetsun eða þurretsun er notuð til að búa til TGV-göt, og síðan hreinsun.
2. Yfirborðsmeðferð: Plasma- eða efnameðferð er beitt til að auka viðloðun milli glersins og málmlagsins.
3. Útfelling frælags: PVD (líkamleg gufuútfelling) eða CVD (efnafræðileg gufuútfelling) er notuð til að setja málmfrælag (t.d. kopar, títan/kopar, palladíum) á veggi glergötanna.
4. Rafhúðun: Leiðandi kopar er settur á frælagið með rafhúðun til að ná fram lágviðnámstengingum.
5. Eftir meðhöndlun: Umframmálmur er fjarlægður og yfirborðsþolinn til að bæta áreiðanleika.
Nr. 4 áskoranir í ferlinu: Áskoranir TGV glerdjúphúðunarvélar
Þrátt fyrir lofandi horfur stendur TGV glerdjúphólunarvélin frammi fyrir nokkrum tæknilegum áskorunum:
1. Einsleitni í djúpholuhúðun TGV-glers: Djúphol í gleri með háum hlutföllum (5:1 til 10:1) þjást oft af málmuppsöfnun við gegnumganginn og ófullnægjandi fyllingu neðst.
2. Útfelling frælags: Gler er einangrunarefni, sem gerir það erfitt að setja hágæða leiðandi frælag á veggi gegnumganganna.
3. Spennustjórnun: Mismunur á varmaþenslustuðlum málms og gler getur leitt til aflögunar eða sprungna.
4. Viðloðun djúpholulaga glerhúðunar: Slétt yfirborð glersins leiðir til veikrar viðloðuns málms, sem krefst hámarks yfirborðsmeðferðar.
5. Fjöldaframleiðsla og kostnaðarstýring: Að bæta skilvirkni málmvinnslu og lækka kostnað eru mikilvæg fyrir markaðssetningu TGV-tækni.
Lausn nr. 5 Zhenhua Vacuum fyrir TGV gler PVD húðunarbúnað – lárétt húðunarlínuhúðunarvél
Kostir búnaðar:
1. Sérstök tækni til málmhúðunar í gegnum gler
Einkaleyfisverndaða málmhúðunartækni Zhenhua Vacuum fyrir glergöt ræður við glergöt með hlutföllum allt að 10:1, jafnvel fyrir mjög lítil op allt að 30 míkron.
2. Sérsniðin fyrir mismunandi stærðir
Styður glerundirlag af ýmsum stærðum, þar á meðal 600 × 600 mm, 510 × 515 mm eða stærra.
3. Sveigjanleiki í ferli
Samhæft við leiðandi eða virkniþunnfilmuefni eins og Cu, Ti, W, Ni og Pt, og uppfyllir fjölbreyttar kröfur um leiðni og tæringarþol.
4. Stöðug frammistaða og auðvelt viðhald
Útbúið með snjallstýringarkerfi fyrir sjálfvirka stillingu á breytum og rauntímaeftirlit með einsleitni filmuþykktar. Einföld hönnun tryggir auðvelt viðhald og minnkað niðurtíma.
Notkunarsvið: Hentar fyrir háþróaða TGV/TSV/TMV umbúðir, það getur náð fram húðun frælags í gegnum göt með götadýptarhlutfalli ≥ 10:1.
–Þessi grein er gefin út afFramleiðandi TGV glerhúðunarvéla fyrir í gegnum holurZhenhua tómarúm
Birtingartími: 7. mars 2025