1. Jónageislaaðstoðuð útfelling notar aðallega lágorkujónageisla til að aðstoða við yfirborðsbreytingar efna.
(1) Einkenni jónaaðstoðaðrar útfellingar
Meðan á húðunarferlinu stendur eru filmuagnirnar stöðugt sprengdar með hlaðnum jónum frá jónagjafanum á yfirborði undirlagsins á meðan þær eru húðaðar með hlaðnum jónageislum.
(2) Hlutverk jónaaðstoðaðrar útfellingar
Háorkujónir ráðast á lauslega bundnar filmuagnir hvenær sem er; Með því að flytja orku öðlast agnirnar meiri hreyfiorku, sem bætir kjarnamyndunar- og vaxtarlögmálið; Framleiða þjöppunaráhrif á himnuvefinn hvenær sem er, sem gerir filmuna þéttari; Ef hvarfgjörnum gasjónum er sprautað inn getur myndast steikíómetrískt efnasambandslag á yfirborði efnisins og það er ekkert tengiflötur milli efnasambandslagsins og undirlagsins.
2. Jónagjafi fyrir jónageislaaðstoðaða útfellingu
Einkenni jónageislaaðstoðaðrar útfellingar er að atóm filmulagsins (útfellingaragnir) eru stöðugt skotin niður af lágorkujónum frá jónagjafanum á yfirborði undirlagsins, sem gerir filmubygginguna mjög þétta og bætir afköst filmulagsins. Orkan E í jónageislanum er ≤ 500 eV. Algengar jónagjafar eru meðal annars: Kauffman jónagjafi, Hall jónagjafi, anóðulags jónagjafi, hol katóðu Hall jónagjafi, útvarpsbylgjujónagjafi, o.s.frv.
Birtingartími: 30. júní 2023