No.1 TGV Glass Site oghere mkpuchi Technology Overview
Glass TGV Site na mkpuchi oghere bụ teknụzụ nkwakọ ngwaahịa microelectronic na-apụta nke gụnyere imepụta oghere n'ime iko iko na imegharị mgbidi dị n'ime ha iji nweta njikọ njikọ eletrik dị elu. E jiri ya tụnyere TSV ọdịnala (Site na Silicon Via) na ihe ndị na-emepụta ihe, iko TGV na-enye uru dị ka mfu mgbaàmà dị ala, nghọta dị elu, na nkwụsi ike dị mma. Ngwongwo ndị a na-eme ka TGV dabara adaba maka ngwa na nkwukọrịta 5G, nkwakọ ngwaahịa optoelectronic, sensọ MEMS, na ndị ọzọ.
No.2 Atụmanya Ahịa: Gịnị kpatara TGV Glass ji enweta nlebara anya?
Site na mmepe ngwa ngwa nke nzikọrịta ozi ugboro ugboro, njikọta optoelectronic, na teknụzụ nkwakọ ngwaahịa dị elu, ọchịchọ maka iko TGV na-abawanye nke ukwuu:
Nkwukọrịta 5G na Millimeter-Wave: Njirimara obere mfu nke iko TGV na-eme ka ọ dị mma maka ngwaọrụ RF dị elu dị ka antennas na nzacha.
Nkwakọ ngwaahịa Optoelectronic: Ngosipụta dị elu nke iko dị mma maka ngwa dị ka silicon photonics na LiDAR.
Nkwakọ ngwaahịa sensọ MEMS: iko TGV na-enyere njikọ njikọta ọnụ dị elu, na-eme ka miniaturization na arụmọrụ nke ihe mmetụta.
Nkwakọ ngwaahịa Semiconductor dị elu: Site na mmụba nke teknụzụ Chiplet, ihe ntinye iko TGV nwere ikike dị ukwuu na nkwakọ ngwaahịa dị elu.
No.3 TGV Glass PVD mkpuchi usoro zuru ezu
Nhazi nke TGV Glass PVD mkpuchi gụnyere itinye ihe ndị na-eduzi n'ime mgbidi nke vias iji nweta njikọ eletrik. Usoro a na-ahụkarị gụnyere:
1. TGV Glass Site na oghere oghere: Laser drilling (UV / CO₂ lasers), mmiri etching, ma ọ bụ akọrọ etching na-eji na-emepụta TGV vias, sochiri ihicha.
2. Ọgwụgwọ dị n'elu: A na-etinye Plasma ma ọ bụ ọgwụgwọ kemịkalụ iji kwalite nrapado n'etiti iko na oyi akwa metallization.
3. Nkwụnye mkpụrụ osisi: A na-eji PVD (Ntube Uzuoku anụ ahụ) ma ọ bụ CVD (Chemical Vapor Deposition) tinye akwa mkpụrụ osisi metal (dịka ọmụmaatụ, ọla kọpa, titanium / ọla kọpa, palladium) na iko site na mgbidi oghere.
4. Electroplating: A na-edobe ọla kọpa na-arụ ọrụ na oyi akwa mkpụrụ site na electroplating iji nweta njikọ njikọ dị ala.
5. Mgbe ọgwụgwọ gasịrị: A na-ewepụ metal karịrị akarị, a na-eme njem n'elu iji meziwanye ntụkwasị obi.
No.4 Usoro ihe ịma aka: Ihe ịma aka nke TGV Glass Deep Hole mkpuchi igwe
N'agbanyeghị atụmanya ya na-ekwe nkwa, TGV Glass Deep Hole Coating Machine na-eche ọtụtụ ihe ịma aka aka ihu:
1.Uniformity nke TGV Glass Deep Hole mkpuchi : Glass Deep Hole na akụkụ dị elu (5: 1 na 10: 1) na-enwekarị nhụjuanya site na nchịkọta ígwè na ọnụ ụzọ na ezughị ezu na-ejuputa na ala.
2. Ngwunye mkpụrụ osisi: Glass bụ ihe mkpuchi, na-eme ka ọ sie ike itinye mkpụrụ osisi na-eduzi elu dị elu na mgbidi.
3. Njikwa nrụgide: Ọdịiche dị na ọnụọgụ mgbasawanye ọkụ nke metal na iko nwere ike iduga n'ịgba ma ọ bụ mgbawa.
4. Adhesion nke Glass Deep Hole mkpuchi Layers: The ezigbo elu nke iko na-arụpụta na-adịghị ike metal adhesion, necessitating kacha elu ọgwụgwọ Filiks.
5. Mmepụta Mass na njikwa ọnụ ahịa: Ịkwalite arụmọrụ nke metallization na ibelata ọnụ ahịa dị oke mkpa maka ịzụ ahịa nke teknụzụ TGV.
No.5 Zhenhua Vacuum's TGV Glass PVD mkpuchi akụrụngwa Ngwọta - mkpuchi mkpuchi kwụ n'ahịrị n'ahịrị.
Uru akụrụngwa:
1. Nanị Glass Site-Hole Metallization mkpuchi teknụzụ
Nkà na ụzụ mkpuchi mkpuchi nke Zhenhua Vacuum nwere ike ijikwa Glass Site-Hole na akụkụ nke ruru 10:1, ọbụlagodi maka obere oghere dị obere ka microns 30.
2. Nhazi maka nha dị iche iche
Na-akwado mkpụrụ iko iko nke nha dị iche iche, gụnyere 600 × 600mm, 510 × 515mm, ma ọ bụ karịa.
3. Usoro mgbanwe
Dakọtara na ihe nkiri na-eduzi ma ọ bụ na-arụ ọrụ dị ka Cu, Ti, W, Ni, na Pt, na-ezute ngwa dị iche iche chọrọ maka conductivity na corrosion resistance.
4. Arụmọrụ kwụsiri ike na mmezi dị mfe
Ejiri usoro njikwa ọgụgụ isi maka mgbanwe mgbanwe akpaaka yana nleba anya n'otu oge nke ọkpụrụkpụ ihe nkiri. Nhazi modular na-eme ka nrụzi dị mfe yana belata oge nkwụsị.
Ngwa Mpaghara: Kwesịrị ekwesị maka nkwakọ ngwaahịa TGV / TSV / TMV, ọ nwere ike nweta mkpuchi mkpuchi mkpụrụ osisi site na oghere na nha omimi oghere ≥ 10: 1.
–E wepụtara akụkọ aTGV Glass Site na Igwe mkpuchi mkpuchi oghereZhenhua Vacuum
Oge nzipu: Mar-07-2025