Ռեակտիվ մագնետրոնային փոշիացումը նշանակում է, որ ռեակտիվ գազ է մատակարարվում փոշիացված մասնիկների հետ փոշիացման գործընթացում՝ բարդ թաղանթ ստանալու համար: Այն կարող է միաժամանակ մատակարարել ռեակտիվ գազ՝ փոշիացված բարդ թիրախի հետ ռեակցիայի համար, և կարող է նաև մատակարարել ռեակտիվ գազ՝ փոշիացված մետաղի կամ համաձուլվածքի թիրախի հետ միաժամանակ ռեակցիայի համար՝ տրված քիմիական հարաբերակցությամբ բարդ թաղանթ ստանալու համար: Ռեակտիվ մագնետրոնային փոշիացման բնութագրերը՝ բարդ թաղանթներ ստանալու համար, հետևյալն են.
(1) Ռեակտիվ մագնետրոնային փոշիացման (միատարր կամ բազմատարր թիրախ) և ռեակցիայի գազերի համար օգտագործվող թիրախային նյութերը հեշտությամբ կարելի է ստանալ բարձր մաքրություն, ինչը նպաստում է բարձր մաքրության միացությունների թաղանթների պատրաստմանը։
(2) Ռեակտիվ մագնետրոնային փոշիացման դեպքում, նստեցման գործընթացի պարամետրերը կարգավորելով, կարելի է պատրաստել բարդ թաղանթների քիմիական կամ ոչ քիմիական հարաբերակցություն, որպեսզի հասնենք թաղանթի բնութագրերի կարգավորման նպատակին՝ թաղանթի կազմը կարգավորելով։
(3) Ռեակտիվ մագնետրոնային փոշիացման նստեցման գործընթացում հիմքի ջերմաստիճանը սովորաբար չափազանց բարձր չէ, և թաղանթի ձևավորման գործընթացը սովորաբար չի պահանջում հիմքի շատ բարձր ջերմաստիճաններում տաքացում, ուստի հիմքի նյութի վրա սահմանափակումները ավելի քիչ են։
(4) Ռեակտիվ մագնետրոնային փոշիացումը հարմար է մեծ մակերեսով միատարր բարակ թաղանթների պատրաստման համար և կարող է ապահովել արդյունաբերական արտադրություն՝ տարեկան մեկ միլիոն քառակուսի մետր ծածկույթի արտադրանքով մեկ մեքենայից: Շատ դեպքերում թաղանթի բնույթը կարող է փոխվել՝ պարզապես փոխելով ռեակտիվ գազի և իներտ գազի հարաբերակցությունը փոշիացման ընթացքում: Օրինակ, թաղանթը կարող է փոխվել մետաղից կիսահաղորդչայինի կամ ոչ մետաղի:
——Այս հոդվածը պարունակում էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուան ազատ է արձակվել
Հրապարակման ժամանակը. Օգոստոսի 31-2023