1. számú TGV üveg átmenőfurat-bevonati technológia áttekintése
TGV üveg átmenő furatbevonat egy feltörekvő mikroelektronikai tokozási technológia, amely átmenő furatok létrehozását foglalja magában üvegfelületeken, és belső falaik fémbevonatát a nagy sűrűségű elektromos összeköttetések elérése érdekében. A hagyományos TSV (Through Silicon Via) és szerves felületekhez képest a TGV üveg olyan előnyöket kínál, mint az alacsony jelveszteség, a nagy átlátszóság és a kiváló hőstabilitás. Ezek a tulajdonságok alkalmassá teszik a TGV-t az 5G kommunikációban, az optoelektronikai tokozásban, a MEMS érzékelőkben és egyebekben való alkalmazásra.
2. számú piaci kilátások: Miért kap egyre nagyobb figyelmet a TGV üveg?
A nagyfrekvenciás kommunikáció, az optoelektronikai integráció és a fejlett csomagolási technológiák gyors fejlődésével a TGV üveg iránti kereslet folyamatosan növekszik:
5G és milliméteres hullámú kommunikáció: A TGV üveg alacsony veszteségű tulajdonságai ideálissá teszik nagyfrekvenciás rádiófrekvenciás eszközökhöz, például antennákhoz és szűrőkhöz.
Optoelektronikai csomagolás: Az üveg nagyfokú átlátszósága előnyös olyan alkalmazásokhoz, mint a szilícium-fotonika és a LiDAR.
MEMS érzékelő tokozás: A TGV üveg nagy sűrűségű összeköttetéseket tesz lehetővé, növelve az érzékelők miniatürizálását és teljesítményét.
Fejlett félvezető tokozás: A Chiplet technológia térnyerésével a TGV üvegszubsztrátok jelentős potenciállal rendelkeznek a nagy sűrűségű tokozásban.
3. számú TGV üveg PVD bevonat részletes folyamat
A TGV üveg PVD bevonat fémezése során vezetőképes anyagokat visznek fel a furatok belső falára az elektromos összeköttetések létrehozása érdekében. A tipikus folyamat a következőket tartalmazza:
1. TGV üveg átmenőfurat-kialakítás: Lézeres fúrással (UV/CO₂ lézerek), nedves maratással vagy száraz maratással hozzák létre a TGV furatokat, majd tisztítással.
2. Felületkezelés: Plazma- vagy kémiai kezelést alkalmaznak az üveg és a fémréteg közötti tapadás fokozására.
3. Vetőréteg leválasztása: A PVD (fizikai gőzfázisú leválasztás) vagy a CVD (kémiai gőzfázisú leválasztás) eljárás fém oltóréteg (pl. réz, titán/réz, palládium) üvegre történő felvitelére szolgál a furatfalakon keresztül.
4. Galvanizálás: A vezetőképes rezet galvanizálással rakják le a vetőmagrétegre az alacsony ellenállású összeköttetések elérése érdekében.
5. Kezelés után: A felesleges fémet eltávolítják, és a megbízhatóság javítása érdekében felületi passziválást végeznek.
4. számú folyamatkihívások: A TGV üvegmélylyuk-bevonó gép kihívásai
Ígéretes kilátásai ellenére a TGV üveg mélyfurat-bevonó gép számos technikai kihívással néz szembe:
1. A TGV üveg mélyfurat-bevonatának egyenletessége: A nagy képarányú (5:1 és 10:1 között) üveg mélyfuratok gyakran fémfelhalmozódástól szenvednek a bejáratnál, és az aljukon nincs elegendő töltet.
2. Vezetőképes magréteg lerakódása: Az üveg szigetelőanyag, ami megnehezíti egy jó minőségű vezetőképes magréteg lerakását az átvezető falakra.
3. Feszültségszabályozás: A fém és az üveg hőtágulási együtthatóinak különbségei vetemedéshez vagy repedéshez vezethetnek.
4. Üveg mélyfuratú bevonatrétegek tapadása: Az üveg sima felülete gyenge fémtapadást eredményez, ami optimalizált felületkezelési eljárásokat tesz szükségessé.
5. Tömegtermelés és költségellenőrzés: A fémezési hatékonyság javítása és a költségek csökkentése kritikus fontosságú a TGV technológia kereskedelmi forgalomba hozatala szempontjából.
A No. 5 Zhenhua Vacuum TGV üveg PVD bevonóberendezés-megoldása – vízszintes bevonatoló soros bevonóberendezés
Felszerelés előnyei:
1. Exkluzív üveg átmenőfuratú fémbevonat-technológia
A Zhenhua Vacuum saját fejlesztésű üveg átmenőfurat-fémbevonat-technológiája akár 10:1 oldalarányú üveg átmenőfuratokat is képes kezelni, még a mindössze 30 mikronos nyílások esetén is.
2. Különböző méretekhez testreszabható
Különböző méretű üvegfelületeket támogat, beleértve a 600×600 mm-es, 510×515 mm-es vagy nagyobb méreteket.
3. Folyamatrugalmasság
Kompatibilis vezetőképes vagy funkcionális vékonyréteg-anyagokkal, például Cu, Ti, W, Ni és Pt-vel, így megfelel a vezetőképesség és a korrózióállóság iránti különféle alkalmazási követelményeknek.
4. Stabil teljesítmény és egyszerű karbantartás
Intelligens vezérlőrendszerrel van felszerelve az automatikus paraméterbeállításhoz és a fóliavastagság egyenletességének valós idejű figyeléséhez. A moduláris kialakítás egyszerű karbantartást és csökkentett állásidőt biztosít.
Alkalmazási terület: Alkalmas TGV/TSV/TMV fejlett csomagoláshoz, átmenő furatú vetőréteg bevonatot érhet el, ≥ 10:1 furatmélység aránnyal.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:TGV üveg átmenő furatbevonó gép gyártóZhenhua vákuum
Közzététel ideje: 2025. márc. 7.