A reaktív magnetronos porlasztás azt jelenti, hogy reaktív gázt adagolnak a porlasztott részecskékhez a porlasztási folyamat során, így egy összetett filmet hoznak létre. Reaktív gázt adagolhat, amely egyidejűleg reagál a porlasztott összetett célponttal, és reaktív gázt is adagolhat, amely egyidejűleg reagál a porlasztott fémmel vagy ötvözettel, így egy adott kémiai arányú összetett filmet hozva létre. A reaktív magnetronos porlasztás jellemzői az összetett filmek előállításához:
(1) A reaktív magnetronos porlasztáshoz használt célanyagok (egyelemes céltárgy vagy többelemes céltárgy) és a reakciógázok könnyen előállíthatók nagy tisztaságban, ami elősegíti a nagy tisztaságú összetett filmek előállítását.
(2) Reaktív magnetronos porlasztás során a leválasztási folyamat paramétereinek beállításával előállíthatók az összetett filmek kémiai aránya vagy nem kémiai aránya, így a film összetételének módosításával szabályozhatók a film jellemzői.
(3) Az aljzat hőmérséklete általában nem túl magas a reaktív magnetronos porlasztásos leválasztási folyamat során, és a filmképző folyamat általában nem igényli az aljzat nagyon magas hőmérsékletre való felmelegítését, így az aljzat anyagára vonatkozóan kevesebb korlátozás van.
(4) A reaktív magnetronos porlasztás alkalmas nagy felületű homogén vékonyrétegek előállítására, és egyetlen géppel évi egymillió négyzetméter bevonat előállítását teszi lehetővé ipari méretekben. Sok esetben a film jellege megváltoztatható a porlasztás során a reaktív gáz és az inert gáz arányának egyszerű megváltoztatásával. Például a film fémből félvezetővé vagy nemfémessé alakítható.
——Ez a cikk tartalmazvákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua szabadult
Közzététel ideje: 2023. augusztus 31.