Depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon ak sous iyon ki ba enèji

1. Depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon sitou itilize gwo bout bwa iyon ki gen ti enèji pou ede nan modifikasyon sifas materyèl yo.

(1) Karakteristik depo asisté pa iyon

Pandan pwosesis kouch la, patikil fim depoze yo ap bonbade kontinyèlman pa iyon chaje ki soti nan sous iyon an sou sifas substra a pandan y ap kouvri ak gwo bout bwa iyon chaje.

(2) Wòl depo asistans iyon

Iyon ki gen gwo enèji yo bonbade patikil fim ki pa twò mare yo nenpòt ki lè; Lè yo transfere enèji, patikil ki depoze yo vin gen plis enèji sinetik, kidonk amelyore lwa nikleyasyon ak kwasans lan; Pwodui yon efè konpaksyon sou tisi manbràn lan nenpòt ki lè, sa ki fè fim nan grandi pi dans; Si yo enjekte iyon gaz reyaktif, yon kouch konpoze estekiyometrik ka fòme sou sifas materyèl la, epi pa gen okenn koòdone ant kouch konpoze a ak substra a.

2. Sous iyon pou depo asisté pa gwo bout bwa iyon

Karakteristik depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon an se ke atòm kouch fim nan (patikil depozisyon yo) yo kontinyèlman bonbade pa iyon ki gen ti enèji ki soti nan sous iyon an sou sifas substra a, sa ki fè estrikti fim nan trè dans epi amelyore pèfòmans kouch fim nan. Enèji E gwo bout bwa iyon an se ≤ 500eV. Sous iyon ki souvan itilize yo enkli: sous iyon Kauffman, sous iyon Hall, sous iyon kouch anod, sous iyon Hall katod kre, sous iyon frekans radyo, elatriye.