Sputtering mayetron reyaktif vle di ke yo apwovizyone gaz reyaktif pou reyaji avèk patikil sputtered yo nan pwosesis sputtering la pou pwodui yon fim konpoze. Li ka bay gaz reyaktif pou reyaji avèk sib konpoze sputtering lan an menm tan, epi li ka bay tou gaz reyaktif pou reyaji avèk sib metal oswa alyaj sputtering lan an menm tan pou prepare yon fim konpoze ak yon rapò chimik bay. Karakteristik sputtering mayetron reyaktif pou prepare fim konpoze yo se:
(1) Materyèl sib yo itilize pou pulverizasyon mayetron reyaktif (sib yon sèl eleman oswa sib plizyè eleman) ak gaz reyaksyon yo fasil pou jwenn yon pite ki wo, sa ki fezab pou preparasyon fim konpoze ki gen gwo pite.
(2) Nan pulverizasyon mayetron reyaktif, lè yo ajiste paramèt pwosesis depo a, yo ka prepare rapò chimik oswa rapò non-chimik fim konpoze yo, pou reyalize objektif reglemante karakteristik fim nan lè yo ajiste konpozisyon fim nan.
(3) Tanperati substrati a jeneralman pa twò wo pandan pwosesis depo pa pulverizasyon mayetron reyaktif la, epi pwosesis fòmasyon fim nan anjeneral pa mande pou substrati a chofe a tanperati ki wo anpil, kidonk gen mwens restriksyon sou materyèl substrati a.
(4) Pulverizasyon mayetron reyaktif la apwopriye pou preparasyon fim mens omojèn sou gwo sifas, epi li ka reyalize pwodiksyon endistriyalize ak yon pwodiksyon anyèl de yon milyon mèt kare kouch nan yon sèl machin. Nan anpil ka, nati fim nan ka chanje tou senpleman lè w chanje rapò gaz reyaktif ak gaz inaktif pandan pulverizasyon an. Pa egzanp, fim nan ka chanje soti nan metal rive nan semi-kondiktè oswa non-metal.
—— Atik sa a genyenmanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua lage
Dat piblikasyon: 31 Out 2023