रिएक्टिव मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग का मतलब है कि स्पटरिंग की प्रक्रिया में स्पटर किए गए कणों के साथ प्रतिक्रिया करने के लिए रिएक्टिव गैस की आपूर्ति की जाती है ताकि एक मिश्रित फिल्म बनाई जा सके। यह एक ही समय में स्पटरिंग यौगिक लक्ष्य के साथ प्रतिक्रिया करने के लिए रिएक्टिव गैस की आपूर्ति कर सकता है, और एक ही समय में स्पटरिंग धातु या मिश्र धातु लक्ष्य के साथ प्रतिक्रिया करने के लिए रिएक्टिव गैस की आपूर्ति भी कर सकता है ताकि एक दिए गए रासायनिक अनुपात के साथ एक मिश्रित फिल्म तैयार की जा सके। मिश्रित फिल्म तैयार करने के लिए रिएक्टिव मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग की विशेषताएं हैं:
(1) प्रतिक्रियाशील मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग (एकल तत्व लक्ष्य या बहु-तत्व लक्ष्य) और प्रतिक्रिया गैसों के लिए उपयोग की जाने वाली लक्ष्य सामग्री उच्च शुद्धता प्राप्त करना आसान है, जो उच्च शुद्धता वाले यौगिक फिल्मों की तैयारी के लिए अनुकूल है।
(2) प्रतिक्रियाशील मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग में, जमाव प्रक्रिया मापदंडों को समायोजित करके, यौगिक फिल्मों का रासायनिक अनुपात या गैर-रासायनिक अनुपात तैयार किया जा सकता है, ताकि फिल्म की संरचना को समायोजित करके फिल्म विशेषताओं को विनियमित करने के उद्देश्य को प्राप्त किया जा सके।
(3) प्रतिक्रियाशील मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग जमाव प्रक्रिया के दौरान सब्सट्रेट का तापमान आम तौर पर बहुत अधिक नहीं होता है, और फिल्म बनाने की प्रक्रिया में आमतौर पर सब्सट्रेट को बहुत अधिक तापमान तक गर्म करने की आवश्यकता नहीं होती है, इसलिए सब्सट्रेट सामग्री पर कम प्रतिबंध होते हैं।
(4) रिएक्टिव मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग बड़े क्षेत्र की सजातीय पतली फिल्मों की तैयारी के लिए उपयुक्त है, और एक मशीन से कोटिंग के एक मिलियन वर्ग मीटर के वार्षिक उत्पादन के साथ औद्योगिक उत्पादन प्राप्त कर सकता है। कई मामलों में, स्पटरिंग के दौरान प्रतिक्रियाशील गैस और निष्क्रिय गैस के अनुपात को बदलकर फिल्म की प्रकृति को बदला जा सकता है। उदाहरण के लिए, फिल्म को धातु से अर्धचालक या गैर-धातु में बदला जा सकता है।
——यह लेखवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ रिहा
पोस्ट करने का समय: अगस्त-31-2023