આયન બીમ સહાયિત નિક્ષેપન અને ઓછી ઉર્જા આયન સ્ત્રોત

1. આયન બીમ સહાયિત ડિપોઝિશન મુખ્યત્વે સામગ્રીની સપાટીના ફેરફારમાં મદદ કરવા માટે ઓછી ઉર્જા આયન બીમનો ઉપયોગ કરે છે.

(1) આયન સહાયિત નિક્ષેપણની લાક્ષણિકતાઓ

કોટિંગ પ્રક્રિયા દરમિયાન, જમા થયેલા ફિલ્મ કણો પર સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર આયન સ્ત્રોતમાંથી ચાર્જ્ડ આયનો દ્વારા સતત બોમ્બમારો કરવામાં આવે છે જ્યારે તેમને ચાર્જ્ડ આયન બીમથી કોટ કરવામાં આવે છે.

(2) આયન સહાયિત નિક્ષેપણની ભૂમિકા

ઉચ્ચ ઉર્જા આયનો કોઈપણ સમયે ઢીલી રીતે બંધાયેલા ફિલ્મ કણો પર બોમ્બમારો કરે છે; ઊર્જા સ્થાનાંતરિત કરીને, જમા થયેલા કણો વધુ ગતિ ઊર્જા મેળવે છે, જેનાથી ન્યુક્લિયેશન અને વૃદ્ધિના નિયમમાં સુધારો થાય છે; કોઈપણ સમયે પટલ પેશી પર કોમ્પેક્શન અસર ઉત્પન્ન કરે છે, જેનાથી ફિલ્મ વધુ ગીચતાથી વધે છે; જો પ્રતિક્રિયાશીલ ગેસ આયનો ઇન્જેક્ટ કરવામાં આવે છે, તો સામગ્રીની સપાટી પર સ્ટોઇકિયોમેટ્રિક સંયોજન સ્તર રચાઈ શકે છે, અને સંયોજન સ્તર અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચે કોઈ ઇન્ટરફેસ નથી.

2. આયન બીમ સહાયિત નિક્ષેપન માટે આયન સ્ત્રોત

આયન બીમ સહાયિત ડિપોઝિશનની લાક્ષણિકતા એ છે કે ફિલ્મ લેયર અણુઓ (ડિપોઝિશન કણો) સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર આયન સ્ત્રોતમાંથી ઓછી ઉર્જા આયનો દ્વારા સતત બોમ્બમારો કરે છે, જે ફિલ્મ માળખું ખૂબ જ ગાઢ બનાવે છે અને ફિલ્મ સ્તરની કામગીરીમાં સુધારો કરે છે. આયન બીમની ઊર્જા E ≤ 500eV છે. સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવાતા આયન સ્ત્રોતોમાં શામેલ છે: કૌફમેન આયન સ્ત્રોત, હોલ આયન સ્ત્રોત, એનોડ સ્તર આયન સ્ત્રોત, હોલો કેથોડ હોલ આયન સ્ત્રોત, રેડિયો ફ્રીક્વન્સી આયન સ્ત્રોત, વગેરે.