પ્રતિક્રિયાશીલ મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગનો અર્થ એ છે કે પ્રતિક્રિયાશીલ ગેસ સ્પટરિંગ પ્રક્રિયામાં સ્પટરિંગ કણો સાથે પ્રતિક્રિયા આપવા માટે પૂરો પાડવામાં આવે છે જેથી સંયોજન ફિલ્મ ઉત્પન્ન થાય. તે સ્પટરિંગ સંયોજન લક્ષ્ય સાથે પ્રતિક્રિયા આપવા માટે પ્રતિક્રિયાશીલ ગેસ સપ્લાય કરી શકે છે, અને આપેલ રાસાયણિક ગુણોત્તર સાથે સંયોજન ફિલ્મ તૈયાર કરવા માટે તે જ સમયે સ્પટરિંગ ધાતુ અથવા એલોય લક્ષ્ય સાથે પ્રતિક્રિયા આપવા માટે પ્રતિક્રિયાશીલ ગેસ પણ સપ્લાય કરી શકે છે. સંયોજન ફિલ્મો તૈયાર કરવા માટે પ્રતિક્રિયાશીલ મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગની લાક્ષણિકતાઓ છે:
(1) રિએક્ટિવ મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ (સિંગલ એલિમેન્ટ ટાર્ગેટ અથવા મલ્ટી-એલિમેન્ટ ટાર્ગેટ) અને રિએક્શન વાયુઓ માટે વપરાતી ટાર્ગેટ મટિરિયલ્સ ઉચ્ચ શુદ્ધતા મેળવવા માટે સરળ છે, જે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સંયોજન ફિલ્મોની તૈયારી માટે અનુકૂળ છે.
(2) રિએક્ટિવ મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગમાં, ડિપોઝિશન પ્રક્રિયા પરિમાણોને સમાયોજિત કરીને, સંયોજન ફિલ્મોનો રાસાયણિક ગુણોત્તર અથવા બિન-રાસાયણિક ગુણોત્તર તૈયાર કરી શકાય છે, જેથી ફિલ્મની રચનાને સમાયોજિત કરીને ફિલ્મની લાક્ષણિકતાઓને નિયંત્રિત કરવાનો હેતુ પ્રાપ્ત કરી શકાય.
(3) પ્રતિક્રિયાશીલ મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ ડિપોઝિશન પ્રક્રિયા દરમિયાન સબસ્ટ્રેટનું તાપમાન સામાન્ય રીતે ખૂબ ઊંચું હોતું નથી, અને ફિલ્મ બનાવવાની પ્રક્રિયામાં સામાન્ય રીતે સબસ્ટ્રેટને ખૂબ ઊંચા તાપમાને ગરમ કરવાની જરૂર હોતી નથી, તેથી સબસ્ટ્રેટ સામગ્રી પર ઓછા નિયંત્રણો હોય છે.
(૪) રિએક્ટિવ મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ મોટા વિસ્તારની સજાતીય પાતળી ફિલ્મો તૈયાર કરવા માટે યોગ્ય છે, અને એક જ મશીનમાંથી વાર્ષિક દસ લાખ ચોરસ મીટર કોટિંગના ઉત્પાદન સાથે ઔદ્યોગિક ઉત્પાદન પ્રાપ્ત કરી શકે છે. ઘણા કિસ્સાઓમાં, સ્પટરિંગ દરમિયાન રિએક્ટિવ ગેસના નિષ્ક્રિય ગેસના ગુણોત્તરમાં ફેરફાર કરીને ફિલ્મની પ્રકૃતિ બદલી શકાય છે. ઉદાહરણ તરીકે, ફિલ્મને ધાતુથી સેમિકન્ડક્ટર અથવા બિન-ધાતુમાં બદલી શકાય છે.
——આ લેખમાંવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ Zhenhua પ્રકાશિત
પોસ્ટ સમય: ઓગસ્ટ-૩૧-૨૦૨૩