1. Bidh tasgadh le taic gath ian sa mhòr-chuid a’ cleachdadh gathaichean ian lùth ìosal gus cuideachadh le atharrachadh uachdar stuthan.
(1) Feartan tasgadh le taic ian
Rè a’ phròiseis chòmhdaich, bidh na mìrean film a chaidh a thasgadh air an bomadh gu leantainneach le ianan luchdaichte bhon stòr ian air uachdar an t-substrate fhad ‘s a tha iad air an còmhdach le gathan ian luchdaichte.
(2) Dreuchd tasgadh le taic ian
Bidh ianan àrd-lùtha a’ bomadh nam mìrean film a tha ceangailte gu sgaoilte aig àm sam bith; Le bhith a’ gluasad lùth, bidh na mìrean a chaidh a thasgadh a’ faighinn barrachd lùth cineatach, agus mar sin a’ leasachadh lagh niùclachaidh agus fàis; Bidh buaidh teannachaidh a’ toirt a-mach air clò na membran aig àm sam bith, a’ toirt air an fhilm fàs nas dùmhaile; Ma thèid ianan gas ath-ghnìomhach a stealladh a-steach, faodar sreath todhar stoichiometric a chruthachadh air uachdar an stuth, agus chan eil eadar-aghaidh eadar an sreath todhar agus an t-substrate.
2. Stòr ian airson tasgadh le taic bho ghathan ian
Is e feart tasgadh le taic gath ian gu bheil ataman an t-sreath film (mìrean tasgadh) air am bomadh gu leantainneach le ianan lùth ìosal bhon stòr ian air uachdar an t-substrate, a’ dèanamh structar an fhilm glè thiugh agus a’ leasachadh coileanadh an t-sreath film. Tha lùth E a’ ghath ian ≤ 500eV. Am measg nan stòran ian a thathas a’ cleachdadh gu cumanta tha: stòr ian Kauffman, stòr ian Hall, stòr ian sreath anod, stòr ian Hall catod falamh, stòr ian tricead rèidio, msaa.
Àm puist: 30 Ògmhios 2023