Tha spùtadh magnetron ath-ghnìomhach a’ ciallachadh gu bheil gas ath-ghnìomhach air a thoirt seachad gus freagairt le mìrean spùtaichte sa phròiseas spùtaidh gus film co-thàthaichte a thoirt gu buil. Faodaidh e gas ath-ghnìomhach a thoirt seachad gus freagairt leis an targaid co-thàthaichte spùtaidh aig an aon àm, agus faodaidh e cuideachd gas ath-ghnìomhach a thoirt seachad gus freagairt leis an targaid meatailt no aloidh spùtaidh aig an aon àm gus film co-thàthaichte ullachadh le co-mheas ceimigeach sònraichte. Is iad seo feartan spùtadh magnetron ath-ghnìomhach gus filmichean co-thàthaichte ullachadh:
(1) Tha na stuthan targaid a thathar a’ cleachdadh airson sputtering magnetron ath-ghnìomhach (targaid aon eileamaid no targaid ioma-eileamaid) agus gasaichean ath-bhualaidh furasta an ìre àrd de ghlanachd fhaighinn, a tha a’ brosnachadh ullachadh fhilmichean co-thàthaichte àrd-ghlanachd.
(2) Ann an sputtering magnetron ath-ghnìomhach, le bhith ag atharrachadh paramadairean a’ phròiseis tasgaidh, faodar co-mheas ceimigeach no co-mheas neo-cheimigeach fhilmichean co-thàthaichte ullachadh, gus an amas a choileanadh a bhith a’ riaghladh feartan an fhilm le bhith ag atharrachadh co-dhèanamh an fhilm.
(3) Mar as trice chan eil teòthachd an t-substrate ro àrd rè pròiseas tasgadh sputtering magnetron ath-ghnìomhach, agus mar as trice chan fheum am pròiseas cruthachadh film an t-substrate a bhith air a theasachadh gu teòthachd glè àrd, agus mar sin tha nas lugha de chuingealachaidhean air stuth an t-substrate.
(4) Tha spùtadh magnetron ath-ghnìomhach freagarrach airson filmichean tana aon-ghnèitheach farsaing ullachadh, agus faodaidh e cinneasachadh gnìomhachais a choileanadh le toradh bliadhnail de mhillean meatair ceàrnagach de chòmhdach bho aon inneal. Ann am mòran chùisean, faodar nàdar an fhilm atharrachadh le bhith dìreach ag atharrachadh co-mheas gas ath-ghnìomhach gu gas neo-ghnìomhach rè spùtadh. Mar eisimpleir, faodar am film atharrachadh bho mheatailt gu leth-chonnsachaidh no neo-mheatailt.
——Tha an t-artaigil seoneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua a leigeil ma sgaoil
Àm puist: 31 Lùnastal 2023