۱. رسوبگذاری به کمک پرتو یونی عمدتاً از پرتوهای یونی کمانرژی برای کمک به اصلاح سطح مواد استفاده میکند.
(1) ویژگیهای رسوبگذاری به کمک یون
در طول فرآیند پوششدهی، ذرات فیلم رسوبشده بهطور مداوم توسط یونهای باردار از منبع یون روی سطح زیرلایه بمباران میشوند، در حالی که با پرتوهای یون باردار پوشش داده میشوند.
(2) نقش رسوبگذاری به کمک یون
یونهای پرانرژی در هر زمانی ذرات فیلم با پیوند سست را بمباران میکنند؛ با انتقال انرژی، ذرات رسوبشده انرژی جنبشی بیشتری به دست میآورند و در نتیجه قانون هستهزایی و رشد را بهبود میبخشند؛ در هر زمانی اثر تراکمی بر بافت غشا ایجاد میکنند و باعث میشوند فیلم متراکمتر رشد کند؛ اگر یونهای گاز واکنشپذیر تزریق شوند، یک لایه ترکیبی استوکیومتری میتواند روی سطح ماده تشکیل شود و هیچ رابطی بین لایه ترکیبی و زیرلایه وجود ندارد.
۲. منبع یون برای رسوبدهی به کمک پرتو یونی
ویژگی رسوبگذاری به کمک پرتو یونی این است که اتمهای لایه فیلم (ذرات رسوب) به طور مداوم توسط یونهای کمانرژی از منبع یونی روی سطح زیرلایه بمباران میشوند و ساختار فیلم را بسیار متراکم میکنند و عملکرد لایه فیلم را بهبود میبخشند. انرژی E پرتو یونی ≤ ۵۰۰eV است. منابع یونی رایج عبارتند از: منبع یونی کافمن، منبع یونی هال، منبع یونی لایه آند، منبع یونی هال کاتد توخالی، منبع یونی فرکانس رادیویی و غیره.
زمان ارسال: 30 ژوئن 2023