کندوپاش مگنترون واکنشی به این معنی است که گاز واکنشی برای واکنش با ذرات کندوپاش شده در فرآیند کندوپاش برای تولید یک فیلم ترکیبی تأمین میشود. این روش میتواند گاز واکنشی را برای واکنش با هدف ترکیبی کندوپاش به طور همزمان تأمین کند و همچنین میتواند گاز واکنشی را برای واکنش با هدف فلزی یا آلیاژی کندوپاش به طور همزمان تأمین کند تا یک فیلم ترکیبی با نسبت شیمیایی مشخص تهیه شود. ویژگیهای کندوپاش مگنترون واکنشی برای تهیه فیلمهای ترکیبی عبارتند از:
(1) مواد هدف مورد استفاده برای کندوپاش مگنترون واکنشی (هدف تک عنصری یا هدف چند عنصری) و گازهای واکنش به راحتی با خلوص بالا قابل دستیابی هستند که این امر برای تهیه فیلمهای ترکیبی با خلوص بالا مفید است.
(2) در روش کندوپاش مگنترون واکنشی، با تنظیم پارامترهای فرآیند رسوبگذاری، میتوان نسبت شیمیایی یا نسبت غیرشیمیایی فیلمهای ترکیبی را تهیه کرد تا با تنظیم ترکیب فیلم، به هدف تنظیم ویژگیهای فیلم دست یافت.
(3) دمای زیرلایه معمولاً در طول فرآیند رسوبگذاری با روش کندوپاش مگنترون واکنشی خیلی بالا نیست و فرآیند تشکیل لایه معمولاً نیازی به گرم شدن زیرلایه تا دماهای بسیار بالا ندارد، بنابراین محدودیتهای کمتری برای جنس زیرلایه وجود دارد.
(4) کندوپاش مگنترون واکنشی برای تهیه لایههای نازک همگن با مساحت بزرگ مناسب است و میتواند به تولید صنعتی با خروجی سالانه یک میلیون متر مربع پوشش از یک دستگاه واحد دست یابد. در بسیاری از موارد، ماهیت لایه را میتوان با تغییر ساده نسبت گاز واکنشی به گاز بیاثر در طول کندوپاش تغییر داد. به عنوان مثال، لایه را میتوان از فلز به نیمهرسانا یا غیرفلز تغییر داد.
——این مقاله دارایتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا آزاد شد
زمان ارسال: 31 آگوست 2023